反応性プロセシングプラズマにおける電子密度測定用平板型マイクロ波共振器プローブとシース効果 (特集 日本のプラズマ研究最前線)

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概要

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著者

• 菅井 秀郎

  中部大学工学部

• 中村 圭二

  中部大学工学部

• 張 祺

  中部大学工学部電気システム工学科

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