8. 硬質炭素薄膜の形成と応用
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概要
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Recent development of hard carbon films formed by discharge decomposition of hydrocarbon gases has been reviewed. The correlation of deposition conditions to film properties and structures are presented, in view of diamond film synthesis and carbon coating of the first wall of fusion devices.
- 社団法人 プラズマ・核融合学会の論文
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