ビーム応用
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1992-01-10
著者
関連論文
- 表面波励起エッチャーにおけるプラズマ診断とラジカル組成
- 28p-YA-4 SWPを用いた酸化膜エッチングII : 活性種の組成
- 28p-YA-3 SWPを用いた酸化膜エッチングI : 表面波プラズマ生成
- レーザ誘起昇温脱離法(LITD)によるプラズマエッチング中の試料表面の評価
- TDSを用いたO_2+H_2Oダウンフローのコロージョン抑制機構の検討
- 新エッチングガスC_3HF_7Oの電子衝突断面積の測定
- ビーム応用
- ビーム応用
- ドライエッチング技術 (ハ-フミクロン以降の超LSIプロセス材料とその関連プロセス)