TDSを用いたO_2+H_2Oダウンフローのコロージョン抑制機構の検討
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概要
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エッチングのコロージョン抑制に効果のあるO_2+H_2Oダウンフロー処理後の残留塩素を調べた。その結果、O_2+H_2Oダウンフロー処理はコロージョン抑制に対して2つの効果のある事が分かった。(1)塩素除去効果;O_2+H_2Oダウンフロー処理には塩素除去効果がある。プラズマ中で解離しないでウエハに供給されるO_2+H_2Oガスの効果である。(2)塩素不活性化効果;O_2+H_2Oダウンフロー処理を行うと非水溶性塩素がAlに残留する。これには、ダウンフロー装置のプラズマ室で生成された活性種が効いている、と考えられる。また、O_2+H_2Oダウンフロー処理にはコロージョン抑制効果がある事から、この残留塩素は化学的に不活性な状態になっている事が予想される。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-04-21
著者
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