レーザ誘起昇温脱離法(LITD)によるプラズマエッチング中の試料表面の評価
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概要
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プラズマエッチング中の表面反応層を観察できるレーザー誘起昇温脱離(LITD)装置を新たに開発し、プラズマ中での表面反応層の変化を観察した。XeF_2およびF_2プラズマによるエッチング中の表面反応層はRFパワーの増加とともに減少する。特にXeF_2プラズマでは、プラズマに曝されない場合に形成される高次のフッ化物の厚い反応層がプラズマ中で容易に脱離してしまうことを見いだした。また、Cl_2プラズマでは、RFパワーの増加にともない塩化物層が一旦厚くなる現象が観察された。表面反応層がプラズマの状態に強く依存することを明らかにした。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-11-25
著者
-
松尾 二郎
京都大学 大学院工学研究科 附属量子理工学教育研究センター
-
中村 守孝
富士通
-
松尾 二郎
富士通研究所
-
松尾 二郎
京都大学大学院工学研究科附属量子理工学研究実験センター
-
大塚 健一
富士通
-
唐橋 一浩
富士通研究所
-
Sawin H.H.
マサチューセッツ工科大学
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