唐橋 一浩 | 富士通研究所

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概要

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関連著者

• 唐橋 一浩

  富士通研究所

• 松尾 二郎

  富士通研究所

• 堀内 敬

  富士通研究所

• 松尾 二郎

  富士通厚木研究所

• 唐橋 一浩

  富士通厚木研究所

• 松尾 二郎

  京都大学 大学院工学研究科 附属量子理工学教育研究センター

• 中村 守孝

  富士通

• 松尾 二郎

  京都大学大学院工学研究科附属量子理工学研究実験センター

• 大塚 健一

  富士通

• Sawin H.H.

  マサチューセッツ工科大学

• 松尾 二郎

  (株)富士通研究所

• 唐橋 一浩

  (株)富士通研究所

• 堀内 敬

  富士通厚木研究所

• 土屋 真平

  富士通厚木研究所

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著作論文

• レーザ誘起昇温脱離法(LITD)によるプラズマエッチング中の試料表面の評価
• 2p-PSA-48 シリコン表面における塩素吸着・反応過程(IV)
• 分子線散乱法による表面反応過程の評価 - シリコン上の塩素の反応過程 -
• 29p-PSB-9 シリコン表面における塩素の吸着・反応過程(III)
• 26a-Y-9 シリコン表面上における塩素の吸着・反応過程(II)
• 29p-PS-21 シリコン表面上における塩素の吸着・反応過程
• 超熱原子ビームによるエッチング反応
• 31p-PSB-46 超熱分子ビームによるSi(100)表面のフッ化物の脱離反応
• 28p-PSB-27 シリコン表面における塩素吸着・反応過程(V)

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