31p-PSB-46 超熱分子ビームによるSi(100)表面のフッ化物の脱離反応

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1996-03-15

著者

• 堀内 敬

  富士通研究所

• 唐橋 一浩

  富士通研究所

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