25pB20p 表面波プラズマを用いた大面積アモルファスカーボン膜生成(ヘリカル/プラズマ応用)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1999-11-20
著者
-
永津 雅章
静岡大学創造科学技術大学院
-
豊田 直樹
(株)ニッシン
-
佐野 徹
名大院工
-
永津 雅章
名大院工
-
伊藤 明
名大院工
-
管井 秀郎
名大院工
-
Nagatsu Masaaki
Department Of Electrical Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
Nagatsu Masaaki
Department Of Electrical Engineering Nagoya University
-
永津 雅章
静岡大 創造科学技術大学院
関連論文
- 24aB16P マイクロ波プラズマCVDを用いた樹脂製材料の気密性コーティング(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 24aB08P Ni/C複合クラスターを用いたプラズマCVDによるカーボンナノチューブの作製(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 24aB10P 共振器型平板状ランチャーを用いた大口径マイクロ波プラズマの生成(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 24aB09P Ar/CH_4マイクロ波プラズマCVDを用いたナノ結晶ダイヤモンド薄膜合成におけるガス種添加の効果(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 酢酸添加表面波励起アルゴンプラズマを用いた樹脂表面親水性の向上
- プラズマ・プロセス技術
- 3. プラズマ滅菌(医療バイオ分野へのプラズマ応用)
- ナノキャピラリー構造を有する大気圧プラズマジェットの開発と超微細プロセスへの応用
- マイクロ波励起表面波プラズマによるポリマー表面のヘパリン固定化
- 酢酸添加表面波励起アルゴンプラズマを用いた樹脂表面の密着性向上
- ナノサイズカーボンナノチューブ電子源の電界放出特性とプラズマ照射の効果
- マルチアレイ型マイクロホロー電極の放電特性
- マイクロ波プラズマを用いた医療材料低温プロセス技術
- 低温マイクロ波プラズマ滅菌における不活化要因に関する研究
- マイクロ波プラズマの滅菌応用 (特集 プラズマ科学の開発と応用)
- 24aB19P マイクロ波励起体積波プラズマの放電特性と医療器具滅菌への応用(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 24aB18P パルス変調表面波プラズマ滅菌における酸素ラジカルの効果(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 24aB17P 低圧力表面波プラズマを用いた低温滅菌実験における投入パワーとガス種の効果(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- プラズマの科学工作実験への活用
- 28pB11P マイクロ波プラズマの滅菌効果(プラズマ基礎・応用、計測)
- 28pB10P 二台の同軸型ランチャーを用いたダイヤモンド成膜用プラズマCVD装置(プラズマ基礎・応用、計測)
- 28pB09P 表面波プラズマ生成カーボン系薄膜の電界電子放出における基板温度の効果(プラズマ基礎・応用、計測)
- 28pB08P 表面波プラズマ生成カーボン系薄膜の基板温度・バイアス電位制御の効果(プラズマ基礎・応用、計測)
- 27aC12P 誘電体線路型マイクロ波ランチャーを用いたプラズマ生成(プラズマ基礎・応用)
- 29pA32P 表面波プラズマを用いたDLC膜の低温形成とその電界電子放出特性(プラズマ壁相互作用・材料/電源・マグネット)
- 29pA07P プラズマ対向ミラーの中性粒子照射による赤外域反射特性への影響(プラズマ壁相互作用・材料/電源・マグネット)
- Production of Vanadium-Carbon Clusters Using DC Arc Discharges with Pulsed Helium/Methane Gas Injection
- 25pB20p 表面波プラズマを用いた大面積アモルファスカーボン膜生成(ヘリカル/プラズマ応用)
- 25pB19p 915MHz表面波プラズマのスロットアンテナ励起特性(ヘリカル/プラズマ応用)
- VHF帯軸対称表面波を用いた大面積プラズマの基礎特性
- 6. 表面波プラズマ : プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断 VI
- 27a-L-9 直線型加熱装置中のダブルレイヤーの崩壊過程に関する考察
- 1a-J-3 直線型乱流加熱装置中の電子ホールの観測
- 表面波とプラズマ密度の可視化
- 27a-M-6 デュアル・ホモダイン検波方式による JIPP-TIIUプラズマの電子密度振動測定
- 有限要素法を用いた新しい表面波プラズマ源の電磁界分布とその大面積化
- 増幅および注入ロック用小形D_2Oレーザの単一モード発振
- 14p-L-13 逆転磁場ピンチ・プラズマにおける電子密度揺動測定
- パワー変調レーザービームにより励起された静電波動の振幅に関する理論および計算機シミュレーションによる検討
- 26p-B-8 RFPダイナモについて
- 30a-L-1 注入ロックモード・ビート法によるTEA CO_2レーザーのパワー変調
- 28a-M-6 散乱体積の空間的広がりがドリフト波スペクトル分布に及ぼす影響
- 1p-K-7 ヘテロダイン検波方式による乱流加熱プラズマのCO_2レーザ散乱計測
- 1p-K-6 遠赤外域新ホモダイン法による乱流加熱プラズマの電子密度揺動測定(II)
- Experimental Study of the Spectral Characteristics of a High Power, Pulsed D_2O Laser for Application to Plasma Diagnostics
- Far-Infrared Laser Interferometry Measurements on the STP-3(M) Reversed-Field Pinch
- New Features of the Reversed-Field Pinch Dynamo
- 6. 表面波プラズマ大口径化(表面波励起プラズマの生成とその応用)
- 高密度プラズマの医療分野への応用(高密度プラズマとその応用技術の最前線)
- 14p-DJ-1 遠赤外域新ホモダイン法による非対称スペクトルの測定
- 31a-TH-8 パワー変調されたレーザービームによるプラズマ波動の励起
- Tyvek 包装された芽胞菌の低温プラズマ滅菌技術
- Test-Wave Measurements of Microwave Absorption Efficiency in a Planar Surface-Wave Plasma Reactor
- Production of Low-Pressure Planar Non-Magnetized Plasmas Sustained under a Dielectric-Free Metal-Plasma Interface
- Production and Control of Low-Pressure Ar and CF_4 Plasmas Using Surface Waves
- Observations of Time-Dependent Asymmetric Spectra of Density Fluctuations in a Linear Turbulently Heated Plasma by Far-Infrared Laser Scattering
- 14p-DJ-2 乱流加熱装置(THE NU-II)におけるCO_2レーザ散乱計測
- Production of Carbon Clusters Using Plasma Chemical Vapor Deposition in He/CH_4 Glow Discharge
- Reflectivity Characteristics of Carbon Materials Irradiated with Hvdrogen Ion-Beam
- Effect of Mode-Mixing on Microwave Reflectometry in the Tokamak and Helical Devices
- Application of Maximum Entropy Method for Data Processing of Microwave Reflectometry
- Numerical Study on Mode Structure of an Optically-Pumped 385 μm D_2O Laser
- 31p-YA-1 STP-3(M)RFPプラズマにおける磁気揺動解析
- Optical Emission and Microwave Field Intensity Measurements in Surface Wave-Excited Planar Plasma
- Surface-Wave Sustained Plane Plasmas : Theory and Experiments
- 30a-W-12 トーラスプラズマにおけるICRF近傍の渡動伝搬II
- Surface Wave Eigenmodes in a Finite-Area Plane Microwave Plasma
- Characteristics of Ultrahigh-Frequency Surface-Wave Plasmas Excited at 915 MHz
- 6.バイオ・医療分野におけるプラズマ科学技術の展開(プラズマ-バイオ融合科学への新展開)
- 7.おわりに(プラズマ-バイオ融合科学への新展開)
- 1.はじめに(プラズマ-バイオ融合科学への新展開)
- 空気を用いたマイクロ波励起表面波プラズマにおける紫外線とラジカルの不活化効果
- イオンアシストプラズマ処理を用いた樹脂-金属密着性改善における表面形状の効果
- マイクロ波プラズマを用いた医療器具用コンテナ内滅菌における水蒸気添加の効果
- 3. プラズマ計測の現状 : 3.2 反射・散乱計測(ミリ波・サブミリ波計測の基礎と応用II)
- 7.電磁波でプラズマを探る : 7.2電磁波の干渉と錯乱から電子の密度と温度を測る(プラズマ実験入門VII)
- 29aA16P 2台の同軸型マイクロ波ランチャーを用いた大容積プラズマ滅菌装置の開発(プラズマ応用)
- 29aA15P マイクロ波プラズマ生成アモルファスカーボン膜の抗菌特性(プラズマ応用)
- 29aA14P 空気を用いたマイクロ波プラズマ滅菌における水蒸気添加の効果(プラズマ応用)
- 02aB04P 熱CVDを併用したマイクロ波プラズマを用いた垂直配向カーボンナノチューブ成長(プラズマ応用)
- 02aB03P 医療滅菌用パルス変調マイクロ波プラズマにおける質量分析測定(プラズマ応用)
- 02aB02P マイクロ波プラズマ滅菌におけるOH基添加の効果(プラズマ応用)
- 02aB01P 大口径内挿型マイクロ波ランチャーを用いた体積波プラズマの放電特性(プラズマ応用)
- 30aC04 パルス変調体積波プラズマを用いた通気性樹脂容器内部の低温滅菌(プラズマ応用)
- 02aB07P プラズマCVD合成ナノ結晶ダイヤモンド薄膜の電界電子放出特性(プラズマ応用)
- 29aA13P 表面波励起窒素・水素プラズマを用いた高分子材料のアミノ基修飾(プラズマ応用)
- 29aA11P カーボンナノチューブを用いたナノサイズ電極の作製とその放電特性(プラズマ応用)
- 29aA10P ドット配列カーボンナノチューブのプラズマ合成と電子放出特性(プラズマ応用)
- 29aA09P カーボンナノチューブ垂直配向成長における基板バイアス極性の効果(プラズマ応用)
- 02aB06P ナノクラスター触媒を用いた空間制御カーボンナノチューブのプラズマCVD合成(プラズマ応用)
- 02aB05P レーザーアブレーション法による触媒金属-炭素複合ナノクラスターの合成(プラズマ応用)
- 29aA17P 細綿状誘電体バリア放電プラズマの生成と細管内プロセスへの応用(プラズマ応用)
- 29aA08P NH_3/CH_4プラズマを用いたカーボンナノ材料低温合成におけるイオン衝撃の効果(プラズマ応用)
- 29aA18P 多孔板電極を用いたマイクロホローカソード放電プラズマの生成(プラズマ応用)
- 29aA12P レーザーアブレーションを用いたナノ構造金属-炭素複合微粒子の作製(プラズマ応用)
- 02aB08P 表面波プラズマを用いた高分子表面改質におけるイオンエネルギー制御の効果(プラズマ応用)