24aB09P Ar/CH_4マイクロ波プラズマCVDを用いたナノ結晶ダイヤモンド薄膜合成におけるガス種添加の効果(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
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概要
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- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2004-11-20
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- 7.電磁波でプラズマを探る : 7.2電磁波の干渉と錯乱から電子の密度と温度を測る(プラズマ実験入門VII)
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