Production of Carbon Clusters Using Plasma Chemical Vapor Deposition in He/CH_4 Glow Discharge
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1997-12-15
著者
-
永津 雅章
静岡大学創造科学技術大学院
-
Nagatsu Masaaki
Department Of Electrical Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
Takada N
Nagoya Univ. Nagoya Jpn
-
Takada Noriharu
Department Of Electrical Engineering Nagoya University
-
Kitagawa Nobuhiko
Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
Takada Noriharu
Department Of Electrical Engineering And Computer Science Nagoya University
-
SASAKI Suguru
Department of Electronics, Graduate School of Engineering, Nagoya University
-
KITAGAWA Nobuhiko
Department of Electronics, Graduate School of Engineering, Nagoya University
-
Sasaki Suguru
Department Of Electronics Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
Nagatsu Masaaki
Department of Electrical and Electronic Engineering, Faculty of Engineering, Shizuoka University, Hamamatsu 432-8561, Japan
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