ナノキャピラリー構造を有する大気圧プラズマジェットの開発と超微細プロセスへの応用
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2008-12-20
著者
-
岩田 太
静岡大学
-
荻野 明久
静岡大学
-
荻野 明久
静岡大学創造科学技術大学院
-
永津 雅章
静岡大学創造科学技術大学院
-
永津 雅章
静岡大学
-
掛井 良太
静岡大学
-
IWATA Futoshi
Faculty of Engineering, Shizuoka University
-
Nagatsu Masaaki
Department Of Electrical Engineering Nagoya University
-
IWATA Futoshi
Facuty of Engineering, Shizuoka Univeisty
-
Iwata Futoshi
Department Of Mechanical Engineering Faculty Of Engineering Shizuoka University
-
NAGATSU Masaaki
Faculty of Engineering, Nagoya University
-
岩田 太
静岡大学工学部
-
岩田 太
静岡大学工学部機械工学科計測情報講座
関連論文
- 走査型ナノピペットプローブ顕微鏡を用いた微細加工 (特集 MEMS技術の応用と実用化)
- ナノピペットプローブ顕微鏡微細加工システムの開発
- 顕微作業用XYθ小型自走機械の開発(第5報) : 圧電アクチュエーターの機能解析と速度向上
- 顕微作業用XYθ小型自走機械の開発(第4報) : 補正手法の改良と補正実験
- 太陽光照射による Solar TEC 用光トラップ付きエミッタの加熱
- 太陽光で駆動される熱電子発電器用高機能エミッタの開発
- 29aA04 太陽エネルギー利用熱電子発電器"Solar TEC"発電特性への照射光効果(プラズマ基礎・応用)
- 24aB16P マイクロ波プラズマCVDを用いた樹脂製材料の気密性コーティング(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 24aB08P Ni/C複合クラスターを用いたプラズマCVDによるカーボンナノチューブの作製(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 24aB09P Ar/CH_4マイクロ波プラズマCVDを用いたナノ結晶ダイヤモンド薄膜合成におけるガス種添加の効果(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 29pA29P 太陽エネルギーで駆動された熱電子発電器の出力特性(プラズマ基礎・応用)
- 太陽エネルギーを利用した熱電子発電器の発電効率および出力特性
- 光照射により動作する熱電子発電器の特性
- 酢酸添加表面波励起アルゴンプラズマを用いた樹脂表面親水性の向上
- ナノキャピラリー構造を有する大気圧プラズマジェットの開発と超微細プロセスへの応用
- マイクロ波励起表面波プラズマによるポリマー表面のヘパリン固定化
- 酢酸添加表面波励起アルゴンプラズマを用いた樹脂表面の密着性向上
- ナノサイズカーボンナノチューブ電子源の電界放出特性とプラズマ照射の効果
- マルチアレイ型マイクロホロー電極の放電特性
- マイクロ波プラズマを用いた医療材料低温プロセス技術
- 低温マイクロ波プラズマ滅菌における不活化要因に関する研究
- ナノクラフトテクノロジー(岩田)研究室
- シングルスリットを用いた鏡面反射率による表面粗さ測定の研究
- 微細加工ツールとしてのプローブ技術
- 金属プローブを用いたAFMによる有機感光ポリマーのナノスケール加工特性
- マイクロピペットプローブを有するSPMによるボリマー表面のナノスケール加工
- シングルスリットによる鏡面反射率の測定
- 電流像及び光学像取得可能な金属プローブAFMの開発とEC薄膜のナノスケール測定
- 原子間力顕微鏡を用いた超音波振動切削法--金属、ポリマー、生体試料のナノスケール加工 (特集:超音波を使用したさまざまな加工)
- 超音波振動切削可能な原子間力顕微鏡の開発とポリマー及び生体試料のナノスケール加工
- 微弱電流検出可能な近接場光学顕微鏡の開発
- 427 原子間力顕微鏡を用いた有機感光ポリマーのナノスケール光加工(光メカトロニクスI)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
- 金属コートしたAFM探針による電場増強効果を利用した有機感光ポリマーのナノ加工
- AFM探針による縦振動を利用したポリマー表面のナノ加工
- 疲労過程におけるポリマー表面のAFMを用いたマイクロ摩耗特性の評価
- 導電性AFM探針を用いたポリマー表面の隆起加工
- AFMによるポリカーボネイトのマイクロ摩耗特性と局所弾性評価
- スリット開口の回折パターンによる反射率の測定
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム 第28報 3台による精密位置決め
- 小型自走機械による超精密生産機械システム(第25報 ホッピング工具による微細加工の試み)
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム 第30報 微細電解加工の試み
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム 第27報 3Dオフラインシミュレータによる動作計画
- 電子顕微鏡内で動作する顕微解剖用小型AFMの開発(トピックス)
- 散乱型SNOMを用いた微細加工技術の開発
- 電流検出可能な近接場光学顕微鏡による電気化学反応を用いたナノスケール着消色加工
- マイクロピペットプローブを用いた表面微細加工(SPMを用いた微細加工)
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム第26報 微細ファイバースコープの搭載と表面観察
- マイクロ磁気プローブで操作された磁性体微粒子による生体試料のマニピュレーション
- DNAテンプレートを利用する金属ナノアレイの調製
- レーザートラップを用いたナノ微粒子のマニピュレーションおよび局所的堆積法 (特集 機能性微粒子テクノロジー)
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム (第24報 高真空中での微細物理加工の試み(2))
- 電流検出SNOMによる光機能材料表面のナノスケール観察 (Imaging Today ここまで見える最近の顕微鏡技術)
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム (第23報 小型振動触針の搭載と障害物回避の試み)
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム 第31報複数の協調による極細ドリル加工(1)
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム 第29報振動触針による障害物回避(2)
- 小型精密自走プローブと3次元座標測定機との共存協調による形状測定 第4報 CCDラインセンサーと円錐を用いた位置検出器の試作
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム (第22報 6台の並列結合CPUによるオンラインシミュレーションと実行データの生成)
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム(第17報 振動触針による障害物認識の試み)
- 変位補正機能付き走査型トンネル顕微鏡
- 水晶マイクロバランス法を用いた走査型ずれ応力顕微鏡の開発
- 高安定STMの製作とナノ加工への応用
- シングルスリットを用いた鏡面反射率による表面粗さ測定の研究
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム(第18報 マイクロハンマ加工の自動化)
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム(第20報 経路誘導と隊列形成の自動化)
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム(第19報 隊列形成のシミュレーション)
- 時系列モデリングの自己組織化に関する研究 (第2報 Exponential自己回帰モデルの推定)
- 時系列モデリングの自己組織化に関する研究 (第1報 最適な自己回帰モデルの選定)
- Nanometer-Scale Deposition of Metal Plating Using a Nanopipette Probe in Liquid Condition
- Removal Method of Nano-Cut Debris for Photomask Repair Using an Atomic Force Microscopy System
- Development of a nano manipulator based on an atomic force microscope coupled with a haptic device : a novel manipulation tool for scanning electron microscopy
- 6.バイオ・医療分野におけるプラズマ科学技術の展開(プラズマ-バイオ融合科学への新展開)
- 空気を用いたマイクロ波励起表面波プラズマにおける紫外線とラジカルの不活化効果
- イオンアシストプラズマ処理を用いた樹脂-金属密着性改善における表面形状の効果
- マイクロ波プラズマを用いた医療器具用コンテナ内滅菌における水蒸気添加の効果
- 電子顕微鏡におけるAFMのマニピュレーター利用 (特集 最新AFM技術)
- 29aA16P 2台の同軸型マイクロ波ランチャーを用いた大容積プラズマ滅菌装置の開発(プラズマ応用)
- 29aA15P マイクロ波プラズマ生成アモルファスカーボン膜の抗菌特性(プラズマ応用)
- 29aA14P 空気を用いたマイクロ波プラズマ滅菌における水蒸気添加の効果(プラズマ応用)
- 02aB04P 熱CVDを併用したマイクロ波プラズマを用いた垂直配向カーボンナノチューブ成長(プラズマ応用)
- 02aB03P 医療滅菌用パルス変調マイクロ波プラズマにおける質量分析測定(プラズマ応用)
- 02aB02P マイクロ波プラズマ滅菌におけるOH基添加の効果(プラズマ応用)
- 02aB01P 大口径内挿型マイクロ波ランチャーを用いた体積波プラズマの放電特性(プラズマ応用)
- 30aC04 パルス変調体積波プラズマを用いた通気性樹脂容器内部の低温滅菌(プラズマ応用)
- 02aB07P プラズマCVD合成ナノ結晶ダイヤモンド薄膜の電界電子放出特性(プラズマ応用)
- 29aA13P 表面波励起窒素・水素プラズマを用いた高分子材料のアミノ基修飾(プラズマ応用)
- 29aA11P カーボンナノチューブを用いたナノサイズ電極の作製とその放電特性(プラズマ応用)
- 29aA10P ドット配列カーボンナノチューブのプラズマ合成と電子放出特性(プラズマ応用)
- 29aA09P カーボンナノチューブ垂直配向成長における基板バイアス極性の効果(プラズマ応用)
- 02aB06P ナノクラスター触媒を用いた空間制御カーボンナノチューブのプラズマCVD合成(プラズマ応用)
- 02aB05P レーザーアブレーション法による触媒金属-炭素複合ナノクラスターの合成(プラズマ応用)
- 29aA17P 細綿状誘電体バリア放電プラズマの生成と細管内プロセスへの応用(プラズマ応用)
- 29aA08P NH_3/CH_4プラズマを用いたカーボンナノ材料低温合成におけるイオン衝撃の効果(プラズマ応用)
- 29aA18P 多孔板電極を用いたマイクロホローカソード放電プラズマの生成(プラズマ応用)
- 29aA12P レーザーアブレーションを用いたナノ構造金属-炭素複合微粒子の作製(プラズマ応用)
- 02aB08P 表面波プラズマを用いた高分子表面改質におけるイオンエネルギー制御の効果(プラズマ応用)
- スリット開口の回折パターンによる反射率の測定
- Nanometer-Scale Manipulation and Ultrasonic Cutting Using an Atomic Force Microscope Controlled by a Haptic Device as a Human Interface
- Operation of Self-Sensitive Cantilever in Liquid for Multiprobe Manipulation
- Volume Control of Metal-Plating Deposition Using a Nanopipette Probe by Controlling Electric Charge
- 走査型イオン伝導顕微鏡のバイオ応用 (特集 生体材料,細胞表面のSPM評価)