微細加工ツールとしてのプローブ技術
スポンサーリンク
概要
著者
-
岩田 太
静岡大学
-
佐々木 彰
静岡大学工学部
-
岩田 太
静岡大学工学部機械工学科
-
IWATA Futoshi
Facuty of Engineering, Shizuoka Univeisty
-
岩田 太
静岡大学工学部
関連論文
- 走査型ナノピペットプローブ顕微鏡を用いた微細加工 (特集 MEMS技術の応用と実用化)
- ナノピペットプローブ顕微鏡微細加工システムの開発
- 顕微作業用XYθ小型自走機械の開発(第5報) : 圧電アクチュエーターの機能解析と速度向上
- 顕微作業用XYθ小型自走機械の開発(第4報) : 補正手法の改良と補正実験
- 六方晶系グラファイト表面原子のSTM観察
- 電界イオン-走査型トンネル複合顕微鏡の製作とその性能
- ナノキャピラリー構造を有する大気圧プラズマジェットの開発と超微細プロセスへの応用
- ナノクラフトテクノロジー(岩田)研究室
- シングルスリットを用いた鏡面反射率による表面粗さ測定の研究
- 微細加工ツールとしてのプローブ技術
- 金属プローブを用いたAFMによる有機感光ポリマーのナノスケール加工特性
- マイクロピペットプローブを有するSPMによるボリマー表面のナノスケール加工
- シングルスリットによる鏡面反射率の測定
- 電流像及び光学像取得可能な金属プローブAFMの開発とEC薄膜のナノスケール測定
- 原子間力顕微鏡を用いた超音波振動切削法--金属、ポリマー、生体試料のナノスケール加工 (特集:超音波を使用したさまざまな加工)
- 超音波振動切削可能な原子間力顕微鏡の開発とポリマー及び生体試料のナノスケール加工
- 微弱電流検出可能な近接場光学顕微鏡の開発
- 427 原子間力顕微鏡を用いた有機感光ポリマーのナノスケール光加工(光メカトロニクスI)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
- 金属コートしたAFM探針による電場増強効果を利用した有機感光ポリマーのナノ加工
- AFM探針による縦振動を利用したポリマー表面のナノ加工
- 疲労過程におけるポリマー表面のAFMを用いたマイクロ摩耗特性の評価
- 導電性AFM探針を用いたポリマー表面の隆起加工
- AFMによるポリカーボネイトのマイクロ摩耗特性と局所弾性評価
- スリット開口の回折パターンによる反射率の測定
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム 第28報 3台による精密位置決め
- 小型自走機械による超精密生産機械システム(第25報 ホッピング工具による微細加工の試み)
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム 第30報 微細電解加工の試み
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム 第27報 3Dオフラインシミュレータによる動作計画
- 電子顕微鏡内で動作する顕微解剖用小型AFMの開発(トピックス)
- 散乱型SNOMを用いた微細加工技術の開発
- 電流検出可能な近接場光学顕微鏡による電気化学反応を用いたナノスケール着消色加工
- マイクロピペットプローブを用いた表面微細加工(SPMを用いた微細加工)
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム第26報 微細ファイバースコープの搭載と表面観察
- マイクロ磁気プローブで操作された磁性体微粒子による生体試料のマニピュレーション
- Nanometer-Scale Layer Removal of Aluminum and Polystyrene Surfaces by Ultrasonic Scratching ( Scanning Tunneling Microscopy)
- DNAテンプレートを利用する金属ナノアレイの調製
- レーザートラップを用いたナノ微粒子のマニピュレーションおよび局所的堆積法 (特集 機能性微粒子テクノロジー)
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム (第24報 高真空中での微細物理加工の試み(2))
- 電流検出SNOMによる光機能材料表面のナノスケール観察 (Imaging Today ここまで見える最近の顕微鏡技術)
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム (第23報 小型振動触針の搭載と障害物回避の試み)
- スリット開口によるFraunhofer回折像の反射光の影響
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム 第31報複数の協調による極細ドリル加工(1)
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム 第29報振動触針による障害物回避(2)
- 小型精密自走プローブと3次元座標測定機との共存協調による形状測定 第4報 CCDラインセンサーと円錐を用いた位置検出器の試作
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム (第22報 6台の並列結合CPUによるオンラインシミュレーションと実行データの生成)
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム(第17報 振動触針による障害物認識の試み)
- 変位補正機能付き走査型トンネル顕微鏡
- Scanning Shearing-Stress Microscopy of Gold Thin Films
- Scanning Tunneling Mieroscopy and Barrier-Height Observation of Stearic Acid Thin Films Prepared by Blot-Wall Technique
- Semilinear Self-Pumped Phase-Conjugate Mirror Using Two Couplcd Cu : (K_Na_)_(Sr_Ba_)_Nb_2O_6 Crystals
- Generation of Forward Phase-Conjugate Beam by Cu : KNSBN-Cat Type Self-Pumped Phase-Conjugator
- 水晶マイクロバランス法を用いた走査型ずれ応力顕微鏡の開発
- 高安定STMの製作とナノ加工への応用
- シングルスリットを用いた鏡面反射率による表面粗さ測定の研究
- 回転型ティルティングテーブルの精密制御 : 機構の試作と基本性能
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム(第18報 マイクロハンマ加工の自動化)
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム(第20報 経路誘導と隊列形成の自動化)
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム(第19報 隊列形成のシミュレーション)
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム(第1報) : 自走機械の設計と試作
- Nanometer-Scale Photoelectric Property of Organic Thin Films Investigated by a Photoconductive Atomic Force Microscope
- 時系列モデリングの自己組織化に関する研究 (第2報 Exponential自己回帰モデルの推定)
- 時系列モデリングの自己組織化に関する研究 (第1報 最適な自己回帰モデルの選定)
- Nanometer-Scale Deposition of Metal Plating Using a Nanopipette Probe in Liquid Condition
- Removal Method of Nano-Cut Debris for Photomask Repair Using an Atomic Force Microscopy System
- Observation of a Polystyrene Surface Modified by Ultrasonic Scratching Using Atomic Force Microscopy
- The use of capillary force for fabricating probe tips for scattering-type near-field scanning optical microscopes
- Development of a nano manipulator based on an atomic force microscope coupled with a haptic device : a novel manipulation tool for scanning electron microscopy
- 電子顕微鏡におけるAFMのマニピュレーター利用 (特集 最新AFM技術)
- スリット開口の回折パターンによる反射率の測定
- Nanometer-Scale Manipulation and Ultrasonic Cutting Using an Atomic Force Microscope Controlled by a Haptic Device as a Human Interface
- スリット開口幅振動法による旋削面粗さ測定
- Nanometer-Scale Metal Plating Using a Scanning Shear-Force Microscope with an Electrolyte-Filled Micropipette Probe
- Operation of Self-Sensitive Cantilever in Liquid for Multiprobe Manipulation
- Volume Control of Metal-Plating Deposition Using a Nanopipette Probe by Controlling Electric Charge
- 走査型イオン伝導顕微鏡のバイオ応用 (特集 生体材料,細胞表面のSPM評価)
- 電流検出可能な近接場光学顕微鏡による電気化学反応を用いたナノスケール着消色加工
- Nanometer-Scale Metal Plating Using a Scanning Shear-Force Microscope with an Electrolyte-Filled Micropipette Probe