28pB08P 表面波プラズマ生成カーボン系薄膜の基板温度・バイアス電位制御の効果(プラズマ基礎・応用、計測)
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概要
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- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2002-11-20
著者
-
内藤 克俊
静大工
-
永津 雅章
静岡大学創造科学技術大学院
-
永津 雅章
静岡大工
-
内藤 克俊
静岡大工
-
栗田 真吾
静岡大工
-
山下 学
静岡大工
-
Nagatsu Masaaki
Department Of Electrical Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
Nagatsu Masaaki
Department Of Electrical Engineering Nagoya University
-
永津 雅章
静岡大 創造科学技術大学院
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