吉武 道子 | 金属材料技術研究所

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概要

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• 金属材料技術研究所の論文著者

関連著者

• 吉武 道子

  (独)物質・材料研究機構半導体材料研究センター

• 吉武 道子

  物質・材料研究機構 半導体材料センター

• 吉原 一紘

  物質・材料研究機構 ナノマテリアル研究所

• 吉原 一紘

  金属材料技術研究所

• 柳生 進二郎

  筑波大学物理工学系

• 柳生 進二郎

  物質・材料研究機構 半導体材料センター

• 知京 豊裕

  物材機構

• 知京 豊裕

  物質・材料研究機構 半導体材料センター

• 知京 豊裕

  (独)物質・材料研究機構

• 知京 豊裕

  金属材料技術研究所

• 知京 豊裕

  (独)物質・材料研究機構 半導体材料センター

• 山内 康弘

  物質・材料研究機構ナノマテリアル研究所

• 知京 豊裕

  物質・材料研究機構

• SONG Weijie

  物質・材料研究機構ナノマテリアル研究所

• Song Weijie

  物質・材料研究機構

• 吉武 道子

  「応用物理」編集委員会

• 土佐 正弘

  金属材料技術研究所

• 知京 豊裕

  物質・材料研究機構ナノマテリアル研/物質研

• 野中 聡

  旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座

• 野中 源一郎

  九州大学薬学部

• 石田 芳也

  北見赤十字病院耳鼻咽喉科・頭頸部外科

• 美馬 宏司

  大阪市立大学

• 白石 賢二

  筑波大学数理物質科学研究科

• 山部 紀久夫

  筑波大学数理物質科学研究科

• 奈良 安雄

  半導体先端テクノロジーズ(Selete)

• 山田 啓作

  早稲田大学ナノテクノロジー研究所

• 大毛利 健治

  物質・材料研究機構 半導体材料センター

• AHMET P.

  物質・材料研究機構 半導体材料センター

• 渡部 平司

  大阪大学

• 赤坂 泰志

  Selete

• CHANG K.-S.

  National Institute for Standards and Technology

• GREEN M.

  National Institute for Standards and Technology

• 奈良 安雄

  Selete

• 山下 学

  日立製作所 デバイス開発センター

• 大坂 次郎

  Nttフォトニクス研究所

• 大島 義文

  東京工業大学大学院総合理工学研究科

• 草野 英二

  金沢工業大学

• 井口 征夫

  川崎製鉄(株)技術研究所

• 鈴木 一弘

  川崎製鉄(株)技術研究所

• 吉越 章隆

  日本原子力研究所・関西研究所・放射光科学研究センター

• 田中 虔一

  埼玉工業大学大学院工学研究科

• 水谷 五郎

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科

• 赤坂 泰志

  東京エレクトロン株式会社

• 生貝 初

  鈴鹿工業高等専門学校 生物応用化学科

• 木村 康男

  東北大学電気通信研究所

• 庭野 道夫

  東北大学電気通信研究所

• 奈良 安雄

  (株)富士通研究所 Ulsi研究部門

• 麻蒔 立男

  東京理科大学・工学部

• 古林 孝夫

  金属材料技術研究所

• 古林 孝夫

  物質・材料研究機構

• 永井 稔

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科

• 富取 正彦

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科

• 吉村 雅満

  「応用物理」編集委員会

• 田畑 仁

  「応用物理」編集委員会

• 平山 博之

  「応用物理」編集委員会

• 笠原 章

  金属材料技術研究所

• 石川 順三

  京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻

• 荒木 康弘

  静大電子研

• 北島 正弘

  金属材料技術研究所

• 加地 博子

  岡山理科大学工学部

• 目 義雄

  金属材料技術研究所

• 吉森 昭夫

  岡山理科大学

• 山本 節夫

  山口大学工学部

• 栗巣 普揮

  山口大学工学部

• 松浦 満

  山口大学工学部

• 久松 広美

  高エネルギー加速器研究機構

• 金澤 健一

  高エネルギー加速器研究機構

• 末次 祐介

  高エネルギー加速器研究機構

• 嶋本 真幸

  高エネルギー加速器研究機構

• 白井 満

  高エネルギー加速器研究機構

• 西脇 みちる

  総合研究大学院大学数物科学研究科

• 佐藤 政行

  高エネルギー加速器研究機構

• 山本 顕弘

  総合研究大学院大学数物科学研究科

• 竹内 孝江

  奈良女子大学

• 木内 正人

  大阪工業技術研究所

• 美本 和彦

  大阪大学大学院工学研究科超高温理工学研究施設

• 松本 貴士

  大阪大学大学院工学研究科超高温理工学研究施設

• 兼松 秀行

  鈴鹿工業高等専門学校材料工学科

• 魯 大凌

  東京工業大学資源化学研究所, CREST

• 相澤 龍彦

  東京大学先端科学技術研究センター

• 戸坂 亜希

  学習院大学理学部

• 五十嵐 慎一

  学習院大学理学部

• 平山 孝人

  学習院大学理学部

• 井口 大介

  学習院大学理学部

• 金 兌映

  物質・材料研究機構 半導体材料センター

• 和佐 清孝

  横浜市立大学理学部

• 麻蒔 立男

  東京理科大学工学部・電気工学科

• 菊地 直人

  金沢工業大学AMS R&D C

• 福島 和宏

  金沢工業大学 AMS R&D C

• 池田 佳広

  金沢工業大学AMS R & D C

• 彩木 傑

  金沢工業大学AMS R & D C

• 佐野 睦

  日本原子力研究所

• 目 義雄

  National Institute For Materials Science (nims)

• 目 義雄

  独立行政法人物質・材料研究機構ナノセラミックスセンター

• 目 義雄

  物質・材料研究機構ナノセラミックスセンター

• 目 義雄

  独立行政法人 物質・材料研究機構

• 目 義雄

  独立行政法人 物質・材料研究機構 材料研究所 微粒子プロセスグループ

• 目 義雄

  物材機構ナノセラミックスセンター

• 板倉 明子

  金属材料技術研究所

• 市川 昌和

  アトムテクノロジー研究体

• 佐藤 弘子

  京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻

• 中川 行人

  アネルバ株式会社装置事業部第一製品技術グループ

• 関川 健太郎

  埼玉大学

• 高橋 善和

  日本真空技術株式会社筑波超材料研究所

• 南戸 秀仁

  金沢工業大学

• 渡部 平司

  大阪大学大学院工学研究科

• 沖村 邦雄

  東海大学工学部電子工学科

• 本間 芳和

  Ntt物性基礎研

• 浅野 清光

  秋田高専

• 小川 倉一

  大阪府立産業技術総合研究所

• 棚橋 克人

  大阪府立大学先端科学研究所

• 小林 信一

  埼玉大学

• 安達 俊

  学習院大学理学部

• 見附 孝一郎

  分子科学研究所

• 関 孝男

  学習院大学理学部

• 阿部 彰雄

  学習院大学理学部

• 栗山 大人

  学習院大学理学部

• 日置 亜也子

  大阪府立産業技術総合研究所

• 多辺 由佳

  「応用物理」編集委員会

• 多辺 由佳

  工業技術院電子技術総合研究所

• 大田 暢彦

  (株)安川電機 開発研究所

• 東野 徒士之

  大阪府立大学先端科学研究所

• 菊池 通真

  大阪府立大学先端科学研究所

• 潮田 資勝

  北陸先端科学技術大学院大学

• 水野 茂

  アネルバ株式会社装置事業部第一製品技術グループ

• 山部 紀久夫

  筑波大学

• 山田 啓作

  筑波大学数理物質科学研究科

• 北原 武

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科

• 田中 英樹

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科

• 脇本 裕之

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科

• 白石 賢二

  筑波大学

• 後藤 康仁

  京都大学大学院工学研究科

• 佐々木 雅夫

  アネルバ株式会社

• 打越 哲郎

  物質・材料研究機構 ナノセラミックスセンター

• 高柳 邦夫

  東京工業大学

• 橘内 浩之

  日立製作所 機械研究所

• 本間 芳和

  Ntt物性科学基礎研究所

• 桜井 誠

  神戸大学理学部

• 吉岡 捷爾

  香川大学

• 財満 鎭明

  名古屋大学先端技術共同研究センター

• 工藤 一浩

  「応用物理」編集委員会

• 高橋 明久

  東京理科大学工学部電気工学科

• 塩川 善郎

  アトムテクノロジー研究体

• 夏川 一輝

  大阪府立産業技術総合研究所

• 村上 和嗣

  大阪市立大学工学部

• 川原 淳史

  大阪市立大学工学部

• 井上 直久

  大阪府立大学先端科学研究所

• 井上 直久

  大阪府立大学 先端科学研究所

• 大毛利 健治

  早稲田大学ナノ理工学研究機構

• 庄子 大生

  東北大学電気通信研究所

• 篠原 正典

  東北大学電気通信研究所

• 安部 薫

  日本真空技術(株)筑波超材料研究所

• 斎藤 順雄

  高松工専

• 仲秋 勇

  静岡県富士工業技術センタ

• 山口 十六夫

  静岡大学

• 岩田 弘

  香川県工技センタ

• 中村 茂昭

  高松工専

• 相 龍太

  横浜市立大学総合理学研究科

• 矢城 陽一朗

  岡山理科大学総合情報学部

• 内藤 賀公

  東京工業大学大学院総合理工学研究科

• BERA Santanu

  物質・材料研究機構

• Green M.

  National Institute Of Standards And Technology

• 成島 哲也

  筑波大学物理学科

• 一村 信吾

  工業技術院電子技術総合研究所 極阪技術部

• 田畑 仁

  阪大

• 佐藤 英樹

  アネルバ株式会社

• 安田 幸夫

  名古屋大学大学院工学研究科

• 渡邉 祐樹

  埼玉大学

• 目 さっか

  独立行政法人 物質・材料研究機構 ナノセラミックスセンター 微粒子プロセスグループ

• 目 義雄

  物質・材料研究機構

• 金持 徹

  広島国際学院大学工学部電子工学科

• 安田 幸夫

  名古屋大学

• 池内 俊之

  筑波大学物理工学系

• 中村 忠

  東海大学工学部電子工学科

• 大屋 誠志郎

  神奈川県産業技術総合研究所

• 品部 慎治

  (株)安川電機

• 山本 恵彦

  筑波大学物理工学系

• 濱田 晃一

  山口大学工学部

• 打越 哲郎

  金属材料技術研究所

• 川田 正国

  工業技術院電子技術総合研究所極限技術部

• 柳沢 保徳

  奈良教育大学

• 森川 良樹

  明電舎材料デバイス研究部

• 西口 哲也

  明電舎材料デバイス研究部

• 宮本 正春

  明電舎材料デバイス研究部

• 野中 秀彦

  工業技術院電子技術総合研究所極限技術部

• 村上 寛

  工業技術院電子技術総合研究所極限技術部

• 佐藤 誠

  アネルバ株式会社装置事業部第一製品技術グループ

• 田口 信一郎

  アネルバ株式会社

• 長谷川 秀雄

  防衛大学校電気工学科

• 妻木 伸夫

  日立製作所, 機械研究所

• 松谷 貴臣

  大阪工業技術研究所

• 継枝 孝行

  日本真空技術(株)筑波超材料研究所

• 河村 裕一

  大阪府立大学先端科学研究所

• 河村 裕一

  大阪府立大先端研

• 金原 あきら

  金沢工業大学AMSRC

• 金 龍成

  金属材料技術研究所

• 平山 博之

  東京工業大学大学院総合理工学研究科

• 平谷 正彦

  「応用物理」 編集委員会

• 近藤 剛弘

  筑波大学物理工学系, 筑波先端学際領域研究(TARA)センター

• 平岡 知己

  筑波大学物理工学系

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著作論文

• 金属電極/high-k絶縁膜キャパシタのフラットバンド電圧特性に与える仕事関数変調及び熱処理の影響(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
• 光と表面
• 光電子収量分光における2次電子閾値の検討
• HACCP対応抗菌エコプレーティングとバイオフィルム
• Cu-9%Al(111)上に成長したエピタキシャルアルミナ膜の表面観察
• Cu-9%Al(111) 合金上に成長したエピタキシャル酸化膜の表面形態と化学結合状態
• Cu-Al 合金単結晶上への結晶性極薄アルミナ膜の成長
• 講義 単体元素と遷移金属シリサイドのスパッタ速度
• シリサイド薄膜の相対スパッタエッチングレート比のエネルギー依存性
• コハク酸のCu(110)表面での吸着状態と仕事関数
• N-Acetylglycine のCu(110)表面での吸着状態と仕事関数
• Cu(110)表面でのハイドロムコン酸の吸着状態
• Cu(110)表面でのアジピン酸の吸着状態 (第24回表面科学講演大会論文特集(3))
• 自己組織的構造形成とそ応用
• 鉄超微粒子表面安定化被膜のキャラクタリゼーション
• 最近の展望 デバイス電極材料と仕事関数
• 海面偏析を利用したコーティング膜/母材海面改質法
• 28aTA-13 蒸着膜上への基板元素表面偏析の汎用的予測方法
• Ti膜上でのCuの偏析濃度と仕事関数低下量との相関
• 金属元素の表面偏析による結合状態の変化と仕事関数
• Nb膜上に偏析したTi層の再生速度の温度依存性
• 下地金属の薄膜表面への偏析による仕事関数変化の測定
• ゲッター作用を持つTi-Nb膜の自己組成制御性
• Ti表面偏析Nb薄膜インテリジェントゲッター
• 共通データ処理環境用XPS2次基準スペクトルのエネルギー特性評価
• 金属元素の偏析した表面の作製と偏析による仕事関数制御の可能性
• 高速拡散によるNb膜表面での基板Tiの多原子層偏析
• 薄膜中での物質の高速拡散現象
• Nb膜/Ti基板およびTi膜/Nb基板系の高速拡散現象における膜の構造・組織の影響
• Cu膜/Ti基板における薄膜中の拡散挙動
• BN処理をした小型真空容器からのガス放出挙動 (極高真空シンポジュ-ムプロシ-ディングス)
• Nb-Ti系における薄膜中の拡散挙動
• Cu基板上に蒸着したTi膜とCuとの反応拡散
• Ti基板上に蒸着したNb膜上へのTi薄膜の析出とそのゲッタ-ポンプ作用 (第30回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
• 仕事関数の成り立ち, 調整法とバンドアライメント
• UPS, XPS, AESを用いた仕事関数計測の原理と実践的ノウハウ
• 基板/薄膜界面における拡散と偏析・反応 : どんな系でも予測できる方法
• 結晶性アルミナ超薄膜の作製
• TiN 膜への Cl^+ イオン打ち込みによる低摩擦化の X 線光電子分光法による研究
• Au(111)再構成表面での局所ポテンシャル障壁高さ測定
• 仕事関数制御の新たな試み
• 走査型トンネル電子顕微鏡によるナノスケール"仕事関数"の電圧依存性の測定〔含 査読コメント〕
• Pauling の電気陰性度 : 日本-欧米ダブルスタンダード!?
• 2. イオン誘起オージェ電子スペクトロメトリ
• Auスパッタエッチングにおけるスパッタ温度と表面ナノ凸凹形成
• X線光電子分光法 - 最近のデータ処理 -
• イオン励起オージェスペクトル
• バックグランドの基礎と処理法各論 (特集:VAMAS-SCA Japan復刻版(1989,1994)) -- (実用電子分光法講座(1994年1月))
• 講義 各種AES分析装置の装置関数(これまでのラウンドロビンでわかったこと)
• エネルギ軸・強度軸をそろえる
• 金属薄膜上における表面自由エネルギ-に駆動された拡散・偏析と偏析表面の材料としての利用
• サマリー・アブストラクト
• 局所ポテンシャル障壁高さ計測における条件依存性の判別
• 局所ポテンシャル障壁高さ測定に関する考察
• BN処理をした小型真空容器からのガス放出挙動
• 研究の個性 : ヒットとロングテール, 栓抜きと水道
• Ti基板上に蒸着したNb膜上へのTi薄膜の析出とそのゲッタ-ポンプ作用 (第30回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)

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