28aTA-13 蒸着膜上への基板元素表面偏析の汎用的予測方法
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2001-03-09
著者
-
吉原 一紘
金属材料技術研究所
-
吉原 一紘
物質・材料研究機構 ナノマテリアル研究所
-
吉武 道子
(独)物質・材料研究機構半導体材料研究センター
-
吉武 道子
金属材料技術研究所筑波支所
-
吉武 道子
金属材料技術研究所
-
吉武 道子
物質・材料研究機構
-
吉武 道子
科学技術庁金属材料技術研究所
-
Aparna Y.
金属材料技術研究所
-
吉原 一紘
金材技研
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