六方晶窒化ホウ素-銅複合膜被覆した真空容器の雰囲気圧力安定性
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概要
著者
-
後藤 真宏
物質・材料研究機構 ナノマテリアル研究所
-
吉原 一紘
物質・材料研究機構 ナノマテリアル研究所
-
笠原 章
物質・材料研究機構 ナノマテリアル研究所
-
小西 陽子
イリノイ大学化学工学科
-
大石 哲雄
物質・材料研究機構
-
土佐 正弘
物質・材料研究機構
-
土佐 正弘
物質・材料研究機構 ナノマテリアル研究所
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