エキシマレーザー照射による銅窒化ホウ素混合薄膜の摩擦特性改善
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概要
著者
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後藤 真宏
独立行政法人物質・材料研究機構材料信頼性センター微小材料工学グループ
-
笠原 章
金属材料技術研究所
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吉原 一紘
物質・材料研究機構 ナノマテリアル研究所
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笠原 章
独立行政法人物質・材料研究機構材料信頼性センター微小材料工学グループ
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土佐 正弘
NIMS
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土佐 正弘
物質・材料研究機構
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土佐 正弘
日本真空協会 研究部会
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後藤 真宏
Nanomaterials Laboratory, National Institute for Materials Science
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笠原 章
Nanomaterials Laboratory, National Institute for Materials Science
-
土佐 正弘
Nanomaterials Laboratory, National Institute for Materials Science
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吉原 一紘
Nanomaterials Laboratory, National Institute for Materials Science
-
土佐 正弘
物材機構
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吉原 一紘
金材技研
-
土佐 正弘
金材技研 筑波支所
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