イオンビーム照射法および高周波スパッタリング法によって作製した窒化チタン薄膜の表面構造
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概要
著者
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笠原 章
金属材料技術研究所
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吉原 一紘
金属材料技術研究所
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吉原 一紘
物質・材料研究機構 ナノマテリアル研究所
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志水 隆一
大阪大学工学部
-
閔 敬烈
金属材料技術研究所
-
ホフマン シーグフリード
金属材料技術研究所
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