19pRH-6 スパッタ蒸着複合薄膜の表面エネルギーとマイクロトライボロジー
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2001-09-03
著者
-
後藤 真宏
独立行政法人物質・材料研究機構材料信頼性センター微小材料工学グループ
-
笠原 章
金属材料技術研究所
-
吉原 一紘
物質・材料研究機構 ナノマテリアル研究所
-
笠原 章
独立行政法人物質・材料研究機構材料信頼性センター微小材料工学グループ
-
土佐 正弘
日本真空協会 研究部会
-
土佐 正弘
科学技術庁金属材料技術研究所
-
後藤 真宏
物・材機構
-
笠原 章
物・材機構
-
土佐 正弘
物・材機構
-
吉原 一紘
物・材機構
-
吉原 一紘
金材技研
-
土佐 正弘
金材技研 筑波支所
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