コンビナトリアルスパッタ成膜装置とZnO膜の摩擦特性制御
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概要
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- 2011-11-20
著者
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後藤 真宏
独立行政法人物質・材料研究機構材料信頼性センター微小材料工学グループ
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土佐 正弘
NIMS
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笠原 章
物質・材料研究機構
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後藤 真宏
物質・材料研究機構
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土佐 正弘
物質・材料研究機構
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土佐 正弘
日本真空協会 研究部会
-
土佐 正弘
物材機構
-
土佐 正弘
金材技研 筑波支所
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