BN処理をした小型真空容器からのガス放出挙動
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概要
著者
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吉原 一紘
金属材料技術研究所
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土佐 正弘
金属材料技術研究所
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吉武 道子
金属材料技術研究所筑波支所
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吉武 道子
金属材料技術研究所
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吉武 道子
科学技術庁金属材料技術研究所
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土佐 正弘
金材技研 筑波支所
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