基板/薄膜界面における拡散と偏析・反応 : どんな系でも予測できる方法
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概要
著者
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吉武 道子
物質・材料研究機構 半導体材料センター
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吉武 道子
(独)物質・材料研究機構半導体材料研究センター
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吉武 道子
金属材料技術研究所
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吉武 道子
物質・材料研究機構
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吉武 道子
「応用物理」 編集委員会
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吉武 道子
科学技術庁金属材料技術研究所
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吉武 道子
物質材料研究機構 半導体材料研究センター
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吉武 道子
金材技研
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