TiN 膜への Cl^+ イオン打ち込みによる低摩擦化の X 線光電子分光法による研究
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概要
著者
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吉武 道子
物質・材料研究機構 半導体材料センター
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相澤 龍彦
東京大学先端科学技術研究センター
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吉武 道子
(独)物質・材料研究機構半導体材料研究センター
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吉武 道子
金属材料技術研究所
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吉武 道子
物質・材料研究機構
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吉武 道子
「応用物理」 編集委員会
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吉武 道子
科学技術庁金属材料技術研究所
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AKHADEJDAMRONG Thananan
東京大学先端研
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相澤 龍彦
東京大学先端研
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吉武 道子
金材技研
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