Ti膜上でのCuの偏析濃度と仕事関数低下量との相関
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概要
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- 2000-03-20
著者
-
吉原 一紘
金属材料技術研究所
-
吉原 一紘
物質・材料研究機構 ナノマテリアル研究所
-
吉武 道子
(独)物質・材料研究機構半導体材料研究センター
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吉武 道子
金属材料技術研究所筑波支所
-
吉武 道子
金属材料技術研究所
-
吉武 道子
物質・材料研究機構
-
吉武 道子
科学技術庁金属材料技術研究所
-
APARNA Yarrama-Reddy
金属材料技術研究所
-
吉原 一紘
金材技研
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