Cu膜/Ti基板における薄膜中の拡散挙動

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概要

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• 日本金属学会の論文

著者

• 吉原 一紘

  物質・材料研究機構 ナノマテリアル研究所

• 吉武 道子

  金属材料技術研究所

• 吉武 道子

  科学技術庁金属材料技術研究所

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