Pt-Ir 合金キログラム原器表面上のハイドロカーボン層の角度分解X線光電子分光法による膜厚評価方法

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概要

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• 1994-03-20

著者

• 吉原 一紘

  金属材料技術研究所

• 吉原 一紘

  物質・材料研究機構 ナノマテリアル研究所

• 藤田 大介

  金属材料技術研究所

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