VAMAS-SCA-WG in Japan活動報告
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概要
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Under the auspices of the 141 comittee (Microbeam Analysis) of Japan Society for Promotion of Science, the AES working group has commenced its work on 1) the establishment of the measurement conditions and 2) the comparison of standard spectra obtained by various spectrometers. Attention was particularly paid to taking the Auger signals at an optimum position of the specimen with respect to the energy analyzer. Systematic investigations on the procedures for energy analyzers, cylindrical mirror analyzers (CMA), are reported in the first section of the present paper. Three kinds of calibration procedures were proposed for attaining the optimum positioning of the specimen with respect to the CMA. Elastic peak varied sensitively in intensity and peak shape, around the optimum position of the specimen.<BR>The comparison of AES instruments installed at several institutes was carried out by measurement of the derivative Auger peak intensity ratio for pure gold and copper under a specific measurement condition, proposed in the first section. The results are shown by the Youden plot following the laborious work performed by the ASTM comittee E-42.
著者
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田中 彰博
アルバック・ファイ(株)
-
吉原 一紘
金属材料技術研究所
-
後藤 敬典
名古屋工業大学
-
志水 隆一
大阪大学工学部
-
本間 禎一
東京大学生産技術研究所
-
一村 信吾
電子技術総合研究所
-
林 孝好
NTT電子応用研究所
-
上村 政雄
豊橋技術科学大学エネルギー工学系
-
橋口 栄弘
新日本製鉄(株)先端技術研究所
-
藤田 大介
東京大学生産技術研究所
-
後藤 敬典
名古屋工業大学生産システム工学科
-
倉橋 正保
化学技術研究所
-
大村 卓一
(株)松下テクノリサーチ
-
徳高 平蔵
鳥取大学工学部
-
大村 卓一
(株) 松下テクノリサーチ
-
黒川 明
大阪大学工学部
-
大島 忠平
無機材料研究所
-
添田 房美
(株) 東レリサーチセンター
-
福田 安生
日本鋼管 (株)
-
田中 浩三
(株) 住友化学工業
-
工藤 正博
(財) 材料科学技術振興財団
-
塩川 善郎
日電アネルバ (株)
-
関根 哲
日本電子 (株)
-
橋口 栄弘
新日本製鉄 (株)
-
田中 彰博
アルバック・ファイ (株)
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