ステンレス鋼の表面状態と吸着水の熱脱離特性(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 田中 彰博

  アルバック・ファイ(株)

• 本間 禎一

  東京大学生産技術研究所

• 本間 禎一

  東大生研

• 藤田 大介

  東京大学生産技術研究所

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