開放型排気システム(タンデムDP+TSP)による極高真空の発生

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1992-04-20

著者

• 本間 禎一

  東京大学生産技術研究所

• 本間 禎一

  東大生研

• 高橋 正二郎

  千葉工業大学

• 藤田 大介

  東京大学生産技術研究所

• 藤田 大介

  金材技研

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