窒化硼素が表面に析出したステンレス鋼(SUS304NBCe)の昇温脱離特性 (第26回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和60年11月6日〜8日,東京)

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 田中 彰博

  アルバック・ファイ(株)

• 本間 禎一

  東京大学生産技術研究所

• 本間 禎一

  東大生研

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• TiN薄膜の昇温脱離特性 その2
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