研究速報 : Ni-20Co合金上に形成された熱酸化薄膜における深さ方向陽イオン分布のAES測定

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概要

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• 東京大学生産技術研究所,Institute of Industrial Science, the University of Tokyo,東京大学生産技術研究所第1部 放射線工学の論文
• 1982-02-01

著者

• 田中 彰博

  アルバック・ファイ(株)

• 本間 禎一

  東大生研

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