TiN薄膜の昇温脱離特性 (第27回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和61年11月12日〜14日,大阪)

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概要

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著者

• 本間 禎一

  東京大学生産技術研究所

• 本間 禎一

  東大生研

• 藤田 大介

  東京大学生産技術研究所

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