超高真空実験のために-1-工作技術と洗浄(真空技術講座)
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概要
著者
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本間 禎一
東京大学生産技術研究所
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村田 好正
東京大学物性研究所
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石川 雄一
(株) 日立製作所機械研究所
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伊藤 明子
(株) 日立製作所機械研究所
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伊藤 裕
(株) 日立製作所
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高 松肇
京和真空機械製作所
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峰田 昌建
東京大学物性研究所
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