チタンゲッタポンプによる極高真空の作成
スポンサーリンク
概要
著者
-
古瀬 宗雄
株式会社日立ハイテクノロジーズエッチング装置第二設計部
-
石川 雄一
(株) 日立製作所機械研究所
-
上田 新次郎
(株) 日立製作所機械研究所
-
古瀬 宗雄
(株) 日立製作所機械研究所
-
蒲原 秀明
(株) 日立製作所機械研究所
関連論文
- Electron Cyclotron Resonance Plasma を用いたシリコン深掘り技術
- Electron Cyclotron Resonance Plasma を用いたシリコン深掘り技術
- エラストマシ-ルのシ-ル特性の検討 (第30回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- チタンゲッタポンプによる極高真空の作成 (第28回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- ステンレス鋼の放出ガス速度に及ぼすベ-キング温度の影響 (第26回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和60年11月6日〜8日,東京)
- ステンレス鋼の種類と放出ガス速度 (第26回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和60年11月6日〜8日,東京)
- モリブデンの放出ガス特性 (第26回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和60年11月6日〜8日,東京)
- タンタルの放出ガス特性 (第26回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和60年11月6日〜8日,東京)
- スピニングロ-タゲ-ジによるB-Aゲ-ジの校正(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- ステンレス鋼の放出ガス速度の低減 : 大気酸化の効果
- ステンレス鋼のガス脱離特性における大気開放の影響
- ステンレス鋼の放出ガス速度に及ぼすベーキング温度の影響
- 加速器真空排気系の圧力分布の計算
- 有限要素法による真空排気シミュレータ
- エラストマシールのシール特性の検討
- チタンゲッタポンプによる極高真空の作成
- ステンレス鋼の種類と放出ガス速度
- モリブデンの放出ガス特性
- タンタルの放出ガス特性
- ターボ形ドライポンプ
- ステンレス鋼, アルミニウム合金および無酸素銅からの光刺激脱離
- シンクロトロン放射光による銅からのガス放出
- ステンレス鋼からのガス放出の温度依存性について
- 機械的負荷によるステンレス鋼表面からのガスの脱離放出
- ステンレス鋼の吸着ガスの昇温脱離特性
- グローモードプラズマ源を用いた放電洗浄によるステンレス鋼の放出ガス低減
- BN析出真空容器のガス放出特性
- ステンレス鋼製真空容器の低温ベーキング
- 放射光 (SR) 下におけるNEGの真空特性 (第2報)
- 放射光 (SR) 下におけるNEGの真空特性
- スピニングロ-タゲ-ジによるB-Aゲ-ジの校正(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- ステンレス鋼の放出ガス速度の低減--ベ-キング温度,履歴の効果
- ベ-キングによるステンレス鋼の表面状態の変化 (第28回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- 真空溶解したSUS316Lの放出ガス速度 (第26回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和60年11月6日〜8日,東京)
- 超高真空実験のために-1-工作技術と洗浄(真空技術講座)