古瀬 宗雄 | 株式会社日立ハイテクノロジーズエッチング装置第二設計部
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概要
関連著者
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古瀬 宗雄
株式会社日立ハイテクノロジーズエッチング装置第二設計部
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石川 雄一
横浜国立大学
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高橋 主人
株式会社日立製作所機械研究所
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古瀬 宗雄
日立製作所機械研究所
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石川 雄一
日立製作所機械研究所
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尾高 憲二
(株)日立製作所機械研究所
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古瀬 宗雄
日立製作所 機械研究所
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石川 雄一
株式会社日立製作所機械研究所
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遠田 豊
株式会社日立ハイテクノロジーズプロセス製造装置三部
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高田 和男
株式会社日立ハイテクノロジーズエッチング装置第二設計部
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堤 貴志
株式会社日立ハイテクノロジーズプロセス製造装置三部
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尾高 憲二
株式会社日立製作所
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高橋 主人
日立製作所機械研究所
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高橋 主人
日立製作所 機械研究所
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尾高 憲二
日立製作所機械研究所
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上田 新次郎
日立製作所機械研究所
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長友 克明
日立製作所笠戸工場
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石川 雄一
(株) 日立製作所機械研究所
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上田 新次郎
(株) 日立製作所機械研究所
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岡田 建夫
日立製作所笠戸工場
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古瀬 宗雄
(株) 日立製作所機械研究所
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蒲原 秀明
(株) 日立製作所機械研究所
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尾高 憲二
株式会社日立製作所機械研究所
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株式会社日立製作所研究所
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古瀬 宗雄
株式会社日立製作所機械研究所
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株式会社日立製作所研究所
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石川 雄一
日立製作所 機械研究所
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石川 雄一
株式会社日立製作所研究所
著作論文
- Electron Cyclotron Resonance Plasma を用いたシリコン深掘り技術
- Electron Cyclotron Resonance Plasma を用いたシリコン深掘り技術
- エラストマシ-ルのシ-ル特性の検討 (第30回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- チタンゲッタポンプによる極高真空の作成 (第28回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- ステンレス鋼の放出ガス速度に及ぼすベ-キング温度の影響 (第26回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和60年11月6日〜8日,東京)
- ステンレス鋼の種類と放出ガス速度 (第26回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和60年11月6日〜8日,東京)
- モリブデンの放出ガス特性 (第26回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和60年11月6日〜8日,東京)
- タンタルの放出ガス特性 (第26回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和60年11月6日〜8日,東京)
- スピニングロ-タゲ-ジによるB-Aゲ-ジの校正(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- ステンレス鋼の放出ガス速度に及ぼすベーキング温度の影響
- エラストマシールのシール特性の検討
- チタンゲッタポンプによる極高真空の作成
- ステンレス鋼の種類と放出ガス速度
- モリブデンの放出ガス特性
- タンタルの放出ガス特性
- スピニングロ-タゲ-ジによるB-Aゲ-ジの校正(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)