尾高 憲二 | (株)日立製作所機械研究所

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概要

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• (株)日立製作所機械研究所の論文著者

関連著者

• 尾高 憲二

  (株)日立製作所機械研究所

• 上田 新次郎

  株式会社日立製作所機械研究所

• 尾高 憲二

  株式会社日立製作所

• 佐藤 修

  (株)日立製作所機械研究所

• 上田 新次郎

  株式会社日立製作所 機械研究所

• 古瀬 宗雄

  株式会社日立ハイテクノロジーズエッチング装置第二設計部

• 石川 雄一

  株式会社日立製作所機械研究所

• 尾高 憲二

  日立製作所機械研究所

• 高橋 主人

  株式会社日立製作所機械研究所

• 石川 雄一

  (株) 日立製作所機械研究所

• 小口 優子

  (株) 日立製作所機械研究所

• 尾高 憲二

  (株) 日立製作所機械研究所

• 荒川 一郎

  学習院大学・理学部・物理教室

• 岡本 昭夫

  大阪府立産業技術総合研究所

• 榎枝 幹男

  日本原子力研究開発機構

• 田中 俊一郎

  科学技術振興事業団 田中固体融合プロジェクト

• 大熊 春夫

  理化学研究所

• 林 智広

  早稲田大学各務記念材料技術研究所

• 草野 英二

  金沢工業大学

• 藤村 喜久郎

  鳥取大学工学部

• 荒川 一郎

  学習院大学大学院自然科学研究科

• 鈴木 一弘

  川崎製鉄(株)技術研究所

• 高橋 夏木

  日本真空技術(株)産業機器事業部

• 大久保 治

  日本真空技術(株)産業機器事業部

• 山本 陽一

  日本電子株式会社

• 山崎 尚

  電気通信大学電子物性工学科物性工学講座

• 山崎 尚

  電気通信大学・一般教育・物理学

• 石川 順三

  京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻

• 赤石 憲也

  核融合研

• 福谷 克之

  東京大学生産技術研究所

• 張 小威

  高エネルギー加速器研究機構

• 加地 博子

  岡山理科大学工学部

• 石川 雄一

  横浜国立大学

• 吉森 昭夫

  岡山理科大学

• 阿部 哲也

  日本原子力研究所那珂研究所

• 阿部 哲也

  原研

• 阿部 哲也

  日本原子力研究所・那珂研究所

• 大塚 道夫

  株式会社日立製作所

• 赤石 憲也

  核融合科学研究所

• 岸本 俊二

  高エネルギー加速器機構・物質構造科学研究所

• 岡野 達雄

  東京大学生産技術研究所

• 張 小威

  高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所

• 平山 孝人

  学習院大学理学部

• 松田 七美男

  東京電機大学工学部物理系列

• 安 東秀

  早稲田大学応用物理学科

• 関 整爾

  日本真空技術株式会社

• 松田 七美男

  東京電機大学工学部環境物質化学科

• 重田 諭吉

  横浜市立大学文理学部

• 堀洋 一郎

  高エネルギー物理学研究所

• 北河 勝

  金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター

• 佐藤 彰繁

  金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター

• 櫻井 利夫

  東北大学金属材料研究所

• 岸田 悟

  鳥取大学工学研究科電気電子工学専攻

• 大塚 道夫

  日立電力・電機グループ

• 道園 真一郎

  高エネルギー加速器研究機構

• 大谷 茂樹

  科学技術庁 無機材質研究所

• 永山 勝也

  Miyagi National College Of Technology

• 井藤 浩志

  早稲田大学応用物理学科

• 川崎 豊誠

  早稲田大学応用物理学科

• 渡部 徹

  鳥取大学工学部電気電子工学科

• 大島 忠平

  早稲田大学応用物理学科

• 小川 倉一

  大阪府立産業技術総合研究所

• 桜井 誠

  分子科学研究所

• 中山 正昭

  大阪市立大学大学院 工学研究科電子情報系専攻 応用物理学講座

• 阿部 哲也

  日本原子力研究所 那珂研究所

• 岩本 和之

  鳥取大学工学部

• 安達 俊

  学習院大学理学部

• 吉竹 正明

  大阪府立産業技術総合研究所

• 野坂 俊紀

  大阪府立産業技術総合研究所

• 寺井 真之

  早稲田大学

• 高津 英幸

  日本原子力研究所

• 羽山 彰

  学習院大学理学部

• 小林 信一

  埼玉大学工学部電気電子システム工学科

• 早川 和延

  北海道大学触媒化学研究センター

• 正木 満博

  高輝度光科学研究センター

• 高橋 研

  東北大学大学院工学研究科

• 中島 秀文

  玉川大学工学部

• 酒井 創

  福島女子短期大学

• 小池 卓郎

  玉川大学工学部

• 野口 正俊

  玉川大学工学部

• 小越 康弘

  福島女子短期大学

• 坂井 大輔

  早稲田大学大学院

• 猪狩 佳幸

  東北大学科学計測研究所

• 石塚 真治

  東北大学科学計測研究所

• 峰 哲朗

  東北大学科学計測研究所

• 高岡 毅

  東北大学科学計測研究所

• 高見 知秀

  東北大学科学計測研究所

• 楠 勲

  東北大学科学計測研究所

• 後藤 康仁

  京都大学大学院工学研究科

• 上田 新次郎

  (株)日立製作所機械研究所

• 市ノ川 竹男

  早稲田大学

• 一村 信吾

  電子技術総合研究所

• 川田 洋揮

  (株)日立ハイテクノロジーズ ナノテクノロジー製品事業本部研究開発本部

• 斉藤 一也

  日本真空(株)筑波超材研

• 塩川 善郎

  JRCAT(アトムテクノロジー研究体)-ATP

• 国分 清秀

  電子技術総合研究所

• 小林 和彦

  玉川大学工学部

• 北河 勝

  金沢工業大学amsrc

• 渡邊 剛

  高輝度光科学研究センター

• 佐伯 宏

  高輝度光科学研究センター

• 鈴木 康明

  理化学研究所

• 谷内 友希子

  理化学研究所

• 野田 隆

  理化学研究所

• 前野 理生

  帝国電機製作所

• 〓 碩喜

  韓国標準科学研究院

• 藤沼 明子

  科学技術振興事業団 田中固体融合プロジェクト

• 矢城 陽一朗

  岡山理科大学総合情報学部

• 伊藤 淳

  早稲田大学各務記念材料技術研究所

• 三浦 忠男

  科学技術振興事業団 田中固体融合プロジェクト

• 角谷 透

  科学技術振興事業団 田中固体融合プロジェクト

• 平田 正紘

  電子技術総合研究所

• 渡辺 成一

  (株)日立製作所 笠戸工場

• 筒井 照彦

  東洋大学工学部電気電子工学科

• 岡本 哲

  東海大学工学部工業化学科

• 鈴木 克己

  早稲田大学各務記念材料技術研究所

• 六田 英治

  早稲田大学各務記念材料技術研究所

• 藤原 武

  静岡大学電子科学研究科

• 吉野 智哉

  (株)日立製作所日立工場

• 佐藤 修

  株式会社日立製作所

• 原 重充

  日本原子力研究所

• 西村 仁

  大阪市立大学工学部

• 黒河 明

  電子技術総合研究所

• 百瀬 丘

  Miyagi National College of Technology

• 早坂 英修

  Miyagi National College of Technology

• 斎藤 克宏

  Miyagi National College of Technology

• 上田 新次郎

  日立製作所機械研究所

• 長谷川 徳慶

  早稲田大学

• 奥沢 昌彦

  早稲田大学

• 河内 泰三

  東京大学生産技術研究所

• 中村 健

  電子技術総合研究所

• 湊 道夫

  真空冶金株式会社

• 市川 昌和

  Jrcat

• 居島 薫

  北海道大学触媒化学研究センター

• 荒川 一郎

  学習院大

• 不破 耕

  日本真空技術株式会社

• 田中 大介

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 土佐 正弘

  科学技術庁金属材料技術研究所

• 吉原 一紘

  科学技術庁金属材料技術研究所

• 大島 忠平

  早稲田大学

• 清水 三郎

  日本真空技術

• 黒田 靖信

  金沢工業大学AMSRC

• 金原 あきら

  金沢工業大学AMSRC

• 重田 諭吉

  横浜市立大学

• 水野 清義

  北海道大学触媒化学研究センター

• 塚原 園子

  日本真空(株)筑波超材研

• 池田 佳直

  日本真空(株)筑波超材研

• 井元 一好

  学習院大学理学部

• 菅野 誠一郎

  (株)日立製作所機械研究所

• 橘内 浩之

  (株)日立製作所機械研究所

• 竹原 伸彦

  静岡大学電子工学研究所

• 白井 賢治

  埼玉大学工学部電気電子システム工学科

• 佐藤 彰繁

  金沢工業大学amsrc

• 疋田 光孝

  静岡大学電子工学研究所

• 高津 英幸

  原子力機構

• 井口 征夫

  川崎製鉄(株)技研

• 垣谷 公徳

  岡山理科大学

• 奥田 昌宏

  大阪府立大学

• 斉藤 芳男

  高エネルギー加速器研究機構

• 岡本 幸雄

  東洋大学工学部

• 御代川 俊明

  日本電子株式会社

• 田村 伸昭

  日本電子株式会社

• 前田 光章

  静岡大学電子工学研究所

• 戸田 昌吾

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 荻原 徳男

  日本原子力研究所東海研究所

• 松本 益明

  分子科学研究所

• 辰己 夏生

  東京大学生産技術研究所

• 糸山 正

  東京大学生産技術研究所

• 楳澤 正臣

  東京大学生産技術研究所

• 上田 新次郎

  (株)日立製作所

• 蒲原 秀明

  (株)日立製作所機械研究所

• 長友 克明

  (株)日立製作所笠戸工場

• 笠原 章

  科学技術庁金属材料技術研究所

• 伊藤 好男

  真空冶金株式会社

• 浜路 和昭

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 杉沼 茂実

  電子技術総合研究所

• 松田 七美男

  東京電機大学大学院工学研究科物質工学専攻

• Takatsu Hideyuki

  Iter Project Promotion Japan Atomic Energy Research Institute

• 妻木 伸夫

  (株)日立製作所

• 徳高 平蔵

  鳥取大学工学部

• 久保 洋士

  京都大学大学院工学研究科

• 大平 恵一

  埼玉大学工学部電気電子システム工学科

• 小原 宏之

  玉川大学工:玉川大学ソーラーチャレンジプロジェクト

• 吉木 宏之

  鶴岡工業高等専門学校 総合科学科

• 尾高 憲二

  株式会社日立製作所機械研究所

• 尾高 憲二

  株式会社日立製作所 機械研究所

• 尾高 憲二

  株式会社日立製作所研究所

• 阿部 哲也

  日本原子力研究所

• 松田 七美男

  東京電機大学

• 古瀬 宗雄

  株式会社日立製作所機械研究所

• 古瀬 宗雄

  株式会社日立製作所研究所

• 辻 博司

  京都大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 長谷川 秀雄

  防衛大学校, 電気工学教室

• 榎枝 幹男

  日本原子力研究所

• 大谷 茂樹

  科学技術庁無機材質研究所

• 小林 信一

  埼玉大学工学部電気工学科

• 石川 雄一

  株式会社日立製作所研究所

• 松下 辰彦

  大阪産業大学 工学部電気電子工学科

• 鈴木 晶雄

  大阪産業大学 工学部電気電子工学科

• 青木 孝憲

  大阪産業大学 工学部電気電子工学科

• 赤石 憲也

  核融合科学研

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著作論文

• 第12回真空国際会議・第8回固体表面国際会議報告
• スピニングロ-タゲ-ジによるB-Aゲ-ジの校正(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
• 排気の繰返しによるステンレス鋼のベーキング前ガス放出速度の低減
• in situ 450℃ベーキングによるSUS304のガス放出低減
• 複合型ターボ分子ポンプのガス放出量の定量評価
• 複合型ターボ分子ポンプのガス放出量の定量評価
• 低誘導放射化フェライト鋼F82Hのガス放出特性
• 6. 極高真空( プラズマ装置からの真空工学・排気技術V)
• 極高真空排気に伴うTi-Moフィラメント中のガス不純物濃度の変化
• 大気酸化によるSUS304ステンレス鋼の表面酸化層の厚さ変化とガス放出速度
• 10-^Paで作動する電子衝撃脱離-飛行時間型(ESD-TOF)分析装置の作製
• 極高真空への試料導入の検討
• チタンゲッタ材の高純度化処理による10-11Pa極高真空の発生 (極高真空シンポジュ-ムプロシ-ディングス)
• 超高真空装置技術 (フォーラム「超高真空装置に関する技術の現状と将来」)
• 酸化によるステンレス鋼の放出ガス低減 (超高真空のためのガス放出の制御技術(技術ノ-ト))
• タンデム運転によるターボ分子ポンプ自身のガス放出量変化の定量評価
• ターボ分子ポンプ自身のガス放出の定量評価(第1報 理論的検討)
• Ti-Mo合金フィラメントからの希ガス放出の低減と10-11Pa極高真空の発生
• ステンレス鋼の放出ガス速度の低減 : 大気酸化の効果
• ステンレス鋼のガス脱離特性における大気開放の影響
• ステンレス鋼の放出ガス速度に及ぼすベーキング温度の影響
• サマリー・アブストラクト
• ステンレス鋼の種類と放出ガス速度
• チタンゲッタ材の高純度化処理による10-11Pa極高真空の発生

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