複合型ターボ分子ポンプのガス放出量の定量評価
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1998-03-20
著者
関連論文
- 第12回真空国際会議・第8回固体表面国際会議報告
- 測長SEMにおけるパターン寸法測定精度の検討
- スピニングロ-タゲ-ジによるB-Aゲ-ジの校正(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- 排気の繰返しによるステンレス鋼のベーキング前ガス放出速度の低減
- in situ 450℃ベーキングによるSUS304のガス放出低減
- 複合型ターボ分子ポンプのガス放出量の定量評価
- 複合型ターボ分子ポンプのガス放出量の定量評価
- 低誘導放射化フェライト鋼F82Hのガス放出特性
- 6. 極高真空( プラズマ装置からの真空工学・排気技術V)
- 極高真空排気に伴うTi-Moフィラメント中のガス不純物濃度の変化
- 大気酸化によるSUS304ステンレス鋼の表面酸化層の厚さ変化とガス放出速度
- 10-^Paで作動する電子衝撃脱離-飛行時間型(ESD-TOF)分析装置の作製
- 極高真空への試料導入の検討
- チタンゲッタ材の高純度化処理による10-11Pa極高真空の発生 (極高真空シンポジュ-ムプロシ-ディングス)
- 超高真空装置技術 (フォーラム「超高真空装置に関する技術の現状と将来」)
- 酸化によるステンレス鋼の放出ガス低減 (超高真空のためのガス放出の制御技術(技術ノ-ト))
- タンデム運転によるターボ分子ポンプ自身のガス放出量変化の定量評価
- ターボ分子ポンプ自身のガス放出の定量評価(第1報 理論的検討)
- Ti-Mo合金フィラメントからの希ガス放出の低減と10-11Pa極高真空の発生
- ステンレス鋼の放出ガス速度の低減 : 大気酸化の効果
- ステンレス鋼のガス脱離特性における大気開放の影響
- ステンレス鋼の放出ガス速度に及ぼすベーキング温度の影響
- サマリー・アブストラクト
- ステンレス鋼の種類と放出ガス速度
- チタンゲッタ材の高純度化処理による10-11Pa極高真空の発生