石川 雄一 | (株) 日立製作所機械研究所
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概要
関連著者
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石川 雄一
(株) 日立製作所機械研究所
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尾高 憲二
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高橋 主人
(株) 日立製作所機械研究所
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河辺 隆也
筑波大学物理学系
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本間 禎一
東京大学生産技術研究所
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古瀬 宗雄
株式会社日立ハイテクノロジーズエッチング装置第二設計部
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河辺 隆也
筑波大学大学院物理学研究科
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高橋 主人
株式会社日立製作所機械研究所
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村田 好正
東京大学物性研究所
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伊藤 裕
(株) 日立製作所
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波多野 和好
(株) 日立製作所機械研究所
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高 松肇
京和真空機械製作所
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峰田 昌建
東京大学物性研究所
著作論文
- ステンレス鋼の放出ガス速度の低減 : 大気酸化の効果
- ステンレス鋼のガス脱離特性における大気開放の影響
- チタンゲッタポンプによる極高真空の作成
- ステンレス鋼からのガス放出の温度依存性について
- 機械的負荷によるステンレス鋼表面からのガスの脱離放出
- ステンレス鋼の吸着ガスの昇温脱離特性
- グローモードプラズマ源を用いた放電洗浄によるステンレス鋼の放出ガス低減
- ステンレス鋼の放出ガス速度の低減--ベ-キング温度,履歴の効果
- ベ-キングによるステンレス鋼の表面状態の変化 (第28回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- 真空溶解したSUS316Lの放出ガス速度 (第26回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和60年11月6日〜8日,東京)
- 超高真空実験のために-1-工作技術と洗浄(真空技術講座)