真空用Al合金の表面酸化膜構造とガス放出特性
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概要
著者
-
田中 彰博
アルバック・ファイ(株)
-
塚原 園子
アルバックテクノ(株)ケミカルセンター
-
大塚 芳郎
日本真空技術筑波超材料研究所
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稲吉 さかえ
株式会社アルバック筑波超材料研究所
-
三沢 俊司
(株)アルバック筑波超材料研究所
-
塚原 園子
日本真空技術(株)筑波超材料研究所
-
稲吉 さかえ
日本真空技術(株)筑波超材料研究所
-
三沢 俊司
日本真空技術(株)筑波超材料研究所
-
塚原 園子
産業技術総合研究所
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塚原 園子
日本真空技術(株)
-
田中 彰博
アルバック・ファイ株式会社
-
大塚 芳郎
日本真空技術(株)筑波超材料研究所
-
塚原 園子
日本真空技術 筑波超材研
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塚原 園子
日本真空技術
-
稲吉 さかえ
日本真空技術 (株) 超材料研究所
-
田中 彰博
アルバック・ファイ (株)
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