1B14 イオンミキシングによる AlN の Cu メタライゼーション
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概要
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- 日本セラミックス協会の論文
- 1992-05-20
著者
-
塚原 園子
日本真空技術(株)筑波超材料研究所
-
千田 中哉
日本真空・超材研
-
千田 中哉
日本真空技術(株)超材料研究所
-
松浦 正道
日本真空技術(株)超材料研究所
-
王 裕昌
日本真空技術(株)超材料研究所
-
松浦 正道
日本真空技術 筑波超材料研
-
塚原 園子
日本真空技術(株)
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