シリコン膜で表面を被覆したステンレス鋼のガス放出特性
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概要
著者
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塚原 園子
アルバックテクノ(株)ケミカルセンター
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斎藤 一也
日本真空技術株式会社
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斎藤 一也
(株)アルバック筑波超材料研究所
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金原 粲
金沢工業大学AMS R&D C
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稲吉 さかえ
株式会社アルバック筑波超材料研究所
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稲吉 さかえ
日本真空技術(株)筑波超材料研究所
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斉藤 一也
日本真空技術 筑波超材研
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塚原 園子
産業技術総合研究所
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塚原 園子
日本真空技術(株)
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金原 粲
金沢工業大学
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金原 粲
金沢工業大学高度材料科学研究開発センター
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塚原 園子
日本真空技術 筑波超材研
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塚原 園子
日本真空技術
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稲吉 さかえ
日本真空技術 (株) 超材料研究所
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斎藤 一也
日本真空技術 (株) 超材料研究所
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