ポリイミドフィルムのスパッタリングにおける放電ガスへのN_2の添加効果
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2000-03-20
著者
-
南戸 秀仁
金沢工業大学・ものづくり研
-
草野 英二
金沢工業大学
-
草野 英二
金沢工業大学・高度材料科学研究開発センター
-
金原 粲
東京大学生産技術研究所
-
菊地 直人
産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門
-
福島 和宏
東レ(株) 滋賀事業所
-
菊地 直人
金沢工業大学AMS R&D C
-
金原 粲
金沢工業大学AMS R&D C
-
福島 和宏
金沢工業大学 AMS R&D C
-
池田 佳広
金沢工業大学AMS R & D C
-
南戸 秀仁
金沢工業大学
-
金原 粲
金沢工業大学
-
池田 佳広
金沢工業大学ams R & D C
-
池田 佳広
金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター
-
菊地 直人
金沢工業大学 A MSR & DC
関連論文
- 中性子検出用ZnO:Gaシンチレータのエキシトン発光特性
- 高周波プラズマ支援スパッタリング法によるインジウム-スズ酸化物(ITO)薄膜の構造および物性制御
- 「つくる、評価する、考える」を実践するものづくり教育 -スパッタリング法による半導体薄膜作製・評価実験-
- 防災用ガスセンサアレイの開発と火災探知ロボットへの応用(センサー・一般)
- VUV/XUV領域の高次高調波計測のための蛍光体発光特性評価(電子ディスプレイ)
- (149)つくる,評価する,考えるを実践する「ものづくり」教育 : スパッタリング法による半導体薄膜作製・評価実験(セッション43 教育システムB(実技)VII)
- プラズマ重合分子認識膜を有するQCMガスセンサ
- スパッタリング成膜における薄膜構造制御
- ポリイミド・ターゲットのスパッタリングによる薄膜作製
- ポリテトラフルオロエチレン/金属系多層薄膜における界面エネルギーの内部応力と硬さに与える影響
- 高周波マグネトロンスパッタリング法を用いた低誘電性有機薄膜の作製
- Al/TiN多層薄幕の微小押し込み硬さ試験によるエネルギー的解析
- タッチパネル用SnO_2:Nb透明導電性薄膜の作製とその評価
- 大気圧空気バリア放電における駆動周波数とバリア層の静電容量の比の適正化
- 大気圧バリア放電におけるコロナ-グロー混在状態の定量評価
- 多層膜の応力
- ポリイミドフィルムのスパッタリングにおける放電ガスへのN_2の添加効果
- スパッタリング用プラズマ
- TiスパッタリングにおけるTiのイオン分率
- 組成変調型多層構造薄膜における高強度化機構の実験的検証
- Al, Cu-TiN薄膜の押し込み試験における変形への多層化の影響
- 微小押し込み硬さ試験によるAl/TiNおよびCu/TiN二層薄膜の変形挙動の検討
- 二元交互スパッタリング法を用いたTiC-C系多層薄膜の作製
- 多層構造薄膜のナノインデンテーション
- 組成変調したTi-TiN多層薄膜における高強度化機構
- Al/TiN2層薄膜の微小押し込み硬さ試験におけるエネルギー散逸
- MgO単結晶の熱蛍光中心
- 太陽光に対する植物生体電位応答
- 蛍光ガラス線量計用銀活性リン酸塩ガラスのラジオフォトルミネッセンス
- 室内に設置された酸化スズ系ガスセンサによる初期火災検知
- 風速変化に対する植物生体電位応答
- タバコ燻焼火災に対するガスセンサ特性
- 複数変化量を用いた環境認識に関する研究
- 感覚概念を導入したニオイセンサによる環境認識に関する一考察
- P1-04 ニオイセンサによる室内空気汚染方向の推定(2005年度日本味と匂学会第39回大会)
- センサエージェントによる大域的環境認識に関する研究
- センサエージェントによる環境認識に関する研究(化学センサー・一般)
- 水晶振動式ガスセンサによるガス種識別(化学センサー・一般)
- 空気汚染方向推定用センサエージェントの提案と実験的シミュレーション
- 「スパッタリング技術の進展と今後への期待」小特集号に寄せて
- 反応性スパッタリングによるセラミックス薄膜の作製
- 201 Cu薄膜の真性応力におよぼす基板の表面エネルギーの影響(薄膜の応力測定,残留応力の評価と強度,オーガナイスドセッション3,第53期学術講演会)
- 安全で安心な電子デバイスに向けた酸化物薄膜の問題点と高品質膜の作製法
- 302 Cu薄膜の機械的性質および残留応力の評価(機能性材料の残留応力評価)(残留応力の評価と適用)(オーガナイスドセツション2)
- QCMガスセンサ用分子認識膜の高感度化と機能設計
- Ag^+ドープリン酸塩ガラスのラジオフォトルミネッセンス
- 中性子位置検出器に用いるZnO系シンチレータの開発
- 火災探知用ガスセンサアレイを搭載したユーティリティロボットの開発
- AIドープZnOスパッタ薄膜を用いた"におい"センサ
- 分子認識膜を有する表面プラズモン共鳴ガスセンサの開発(センサー・一般)
- P1-55 SPR味およびQCM匂い複合センサによる日本酒の甘辛口の識別
- 感性化学センサを用いた日本酒の種類判別
- SPR味センサと半導体式においセンサを用いた酢の品質判定
- P1-03 ニオイセンサアレイを用いた火災源探知システムの開発(2005年度日本味と匂学会第39回大会)
- 居住空間におけるニオイセンサの多点測定と生活活動の抽出
- 居住空間におけるニオイセンサの多点測定と生活活動の抽出
- 居住空間におけるニオイセンサの多点測定と生活活動の抽出
- 水晶振動子式ニオイセンサを用いた酒類の判別(第30回味と匂のシンポジワウム)
- 天井に設置された酸化スズ系ガスセンサによる初期火災検知
- ガスセンサによる燻焼火災検知
- 入学学生の多様化と進路先の多様化をつなぐ工学・工業教育のあり方 -進路指導担当者からみた新しい時代の工学・工業教育-
- 半導体式ガスセンサアレイによる匂い源探知
- 表面プラズモン共鳴化学センサの酢に対する応答特性
- 物性制御システムコアにおける工学専門実験(2)テーマ統合による8週間を使った工学専門実験授業
- 組成変調したTiN-Ti多層薄膜の構造と硬さおよび内部応力
- 組成傾斜構造とAr圧がZrN/Zr/ZrO_2とZrN/ZrO_2膜の硬さ及び付着力に与える影響
- 固体炭素源を用いた反応性スパッタリング法によるTiC膜の作製
- 固体炭素源を用いた反応性スパッタリング法によるTiC膜の作製
- 高周波プラズマ支援マグネトロンスパッタリングにおける粒子のエネルギー分布
- 組成変調を持つTi-TiN多層構造薄膜のナノインデンテーション法による硬さの評価
- 組成傾斜構造をもつZrn/Zr/ZrO_2とTiN/Ti/TiO_2膜の付着力と硬さの評価
- 高周波プラズマ支援スパッタリング法によるTi薄膜の構造および物性制御
- 第1回スパッタリングおよびプラズマプロセス国際シンポジウム(ISSP′91)を開催して
- 低出力Arイオン照射前処理によるTi薄膜/Si基板間の密着性の改善
- 表面プラズモン共鳴現象を利用した化学センサ
- 酸化物半導体薄膜ガスセンサを用いた魚の鮮度判定
- Al/TiN多層薄膜の微小押し込み硬さ試験におけるエネルギー散逸
- 固体炭素源を用いた2元交互スパッタリングによるTiC薄膜の作製
- 高周波支援マグネトロンスパッタリング法におけるAr^+及びTi^+のエネルギー分布のAr圧力依存性
- 高周波支援マグネトロンスパッタリング法におけるAr^+及びTi^+のエネルギー分布のコイル自己バイアス依存性
- 高周波支援マグネトロンスパッタリング法におけるAr^+及びTi^+のエネルギー分布のカソード電力依存性
- 電荷-電圧リサージュ法と表面電荷図形法を併用したコロナ-グロー放電遷移特性の評価
- ITO薄膜のキャリア輸送現象に対するフォノン散乱の寄与
- 水晶振動子式ガスセンサの機能設計
- CsBr:Eu輝尽性蛍光体を用いたX線二次元イメージセンサ
- 分科会誌「放射線」刊行30周年
- においセンサーシステムの開発現状および応用分野
- 感性を測るエレクトロニックノーズ
- スパッタリング法によるカーボンナノフレークの形成
- 酸素クラスタとガスセンサアレイを組み合わせた脱臭モニタリング
- プラズマCVD法で作製した分子認識膜を持つ水晶振動子式ガスセンサ
- SPR化学センサの酢に対する応答
- ホルムアルデヒドに対する観葉植物の浄化能力の比較
- ニオイセンサ信号の融合による人間の日常活動の同定
- P-134 パラメータ推定に基づく匂い識別(ポスターセッション,2010年度日本味と匂学会第44回大会)
- ガスセンサアレイを用いた早期火災検知(化学センサ・一般)
- 水晶振動子式ガスセンサ測定とケモメトリックス解析による揮発ガス分析
- ニオイセンサを用いた嗜好飲食物の口臭消臭効果の測定
- 蛍光ガラス線量計用銀活性リン酸塩ガラスのラジオフォトルミネッセンス
- 火災検知のためのニオイセンサシステムの開発とロボット搭載への検討