高周波支援マグネトロンスパッタリング法におけるAr^+及びTi^+のエネルギー分布のAr圧力依存性
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概要
著者
-
南戸 秀仁
金沢工業大学・ものづくり研
-
草野 英二
金沢工業大学
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金原 粲
東京大学生産技術研究所
-
菊地 直人
産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門
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福島 和宏
東レ(株) 滋賀事業所
-
菊地 直人
金沢工業大学AMS R&D C
-
金原 粲
金沢工業大学AMS R&D C
-
福島 和宏
金沢工業大学 AMS R&D C
-
斉藤 隆義
金沢工業大学高度材料科学研究開発センター
-
彩木 傑
金沢工業大学AMS R & D C
-
南戸 秀仁
金沢工業大学
-
小林 俊起
金沢工業大学ams R & D C
-
金原 粲
金沢工業大学
-
斉藤 隆義
金沢工業大学ams R & D C
-
彩木 傑
金沢工業大学ams R & D C
-
斉藤 隆義
金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター
-
彩木 傑
金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター
-
菊地 直人
金沢工業大学 A MSR & DC
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