高周波プラズマ支援マグネトロンスパッタリングにおける粒子のエネルギー分布
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概要
著者
-
南戸 秀仁
金沢工業大学・ものづくり研
-
草野 英二
金沢工業大学
-
金原 粲
金沢工業大学AMS R&D C
-
北河 勝
金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター
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南戸 秀仁
金沢工業大学
-
北河 勝
金沢工業大学amsrc
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小林 俊起
金沢工業大学ams R & D C
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柏木 昇
金沢工業大学 Ams R&d C
-
金原 粲
金沢工業大学
-
北河 勝
金沢工業大学 A MSR & DC
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