VUV/XUV領域の高次高調波計測のための蛍光体発光特性評価(電子ディスプレイ)

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概要

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• 本論文では,VUV(vacuum ultraviolet)/XUV (Extreme ultraviolet)領域の光に対する蛍光体の光変換素子性能について報告する.VUV/XUV光のイメージング素子には,XUV用CCDカメラやMCP (Micro-Channel Plate)などがあるが,これらは一般に非常に高価である.これに変わるイメージング素子として,VUV/XUV光を可視光に光変換する蛍光体を可視用CCDカメラと組み合わせることを考え,蛍光体の発光特性を評価した.蛍光体をVUV/XUV光のイメージング素子とした場合,Zn_2SiO_4 : Mn^<2+>(1.8mg/cm^2)を用いると12μm以下のにじみでVUV/XUV先をイメージングできることが分かった.また,蛍光発光量は,励起光景が約5×10^<13>個/scm^2以上になると線形な増加を示すことが分かった.この線形領域において,蛍光体をVUV/XUV光の光景計測素子とした場合,蛍先発先皇を1%の精度で計測することで励起光量を約0.5%の精度で求めることができる.更に,30〜117nmの励起波長域における蛍光発光の量子効率は,Zn_2SiO_4 : Mn^<2+>の方がBaMgAl_<10>O_<17> : Eu^<2+>より約2倍高く,蛍光発光の照度としては,BaMgAl_<10>O_<17> : Eu^<2+>の方がZn_2SiO_4 : Mn^<2+>より約3倍多くなることが予想された.一方,蛍光発光量としては,Zn_2SiO_4 : Mn^<2+>の方がBaMgAl_<10>O_<17> : Eu^<2+>より約100倍多くなると見積もられた.

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2008-07-01

著者

• 田中 和夫

  阪大院工

• 羽原 英明

  阪大院工

• 草野 英二

  金沢工業大学

• 山本 雅史

  金沢工業大学ものづくり研究所

• 堀邊 英夫

  金沢工業大学ものづくり研究所

• 田中 和夫

  大阪大学大学院工学研究科電気電子情報工学専攻

• 田中 和夫

  阪大工阪大レーザー研

• 羽原 英明

  阪大工阪大レーザー研

• 羽原 英明

  大阪大学大学院工学研究科電気電子情報工学専攻

• 山本 雅史

  金沢工大 大学院工学研究科

• 堀邊 英夫

  金沢工業大学 バイオ・化学部 応用化学科

• 草野 英二

  金沢工業大学大学院工学研究科材料設計工学専攻

• 田中 和夫

  大阪大学大学院 工学研究科電気電子情報工学専攻

• 堀邊 英夫

  金沢工大・ものづくり研究所

• 堀邊 英夫

  金沢工業大学

• 羽原 英明

  大阪大学大学院 工学研究科電気電子情報工学専攻

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