固体炭素源を用いた反応性スパッタリング法によるTiC膜の作製
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概要
- 論文の詳細を見る
- 1998-03-20
著者
-
草野 英二
金沢工業大学
-
金原 粲
金沢工業大学AMS R&D C
-
北河 勝
金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター
-
佐藤 彰繁
金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター
-
北河 勝
金沢工業大学amsrc
-
黒田 靖信
金沢工業大学AMSRC
-
金原 粲
金沢工業大学
-
佐藤 彰繁
金沢工業大学amsrc
-
佐藤 彰繁
金沢工業大学 A MSR & DC
-
北河 勝
金沢工業大学 A MSR & DC
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