Cu/TiN薄膜間の付着力に対するTi膜の効果
スポンサーリンク
概要
著者
-
則武 千景
(株)デンソー生産技術開発二部
-
竹中 修
(株)デンソー 生産技術開発2部
-
金原 粲
金沢工業大学AMS R&D C
-
竹中 修
(株)デンソー生産技術開発二部
-
近藤 憲司
(株)デンソー生産技術開発二部
-
石原 康生
(株)デンソー生産技術開発二部
-
近藤 市治
(株)デンソー生産技術開発二部
-
金原 粲
金沢工業大学
-
近藤 市治
(株)デンソー
関連論文
- 自動車用エアコンの臭気抑制 -微生物に起因する腐敗臭とその抑制-
- ポリテトラフルオロエチレン/金属系多層薄膜における界面エネルギーの内部応力と硬さに与える影響
- 高周波マグネトロンスパッタリング法を用いた低誘電性有機薄膜の作製
- Al/TiN多層薄幕の微小押し込み硬さ試験によるエネルギー的解析
- タッチパネル用SnO_2:Nb透明導電性薄膜の作製とその評価
- 大気圧空気バリア放電における駆動周波数とバリア層の静電容量の比の適正化
- 大気圧バリア放電におけるコロナ-グロー混在状態の定量評価
- 多層膜の応力
- ポリイミドフィルムのスパッタリングにおける放電ガスへのN_2の添加効果
- スパッタリング用プラズマ
- TiスパッタリングにおけるTiのイオン分率
- 組成変調型多層構造薄膜における高強度化機構の実験的検証
- Al, Cu-TiN薄膜の押し込み試験における変形への多層化の影響
- 微小押し込み硬さ試験によるAl/TiNおよびCu/TiN二層薄膜の変形挙動の検討
- 二元交互スパッタリング法を用いたTiC-C系多層薄膜の作製
- 多層構造薄膜のナノインデンテーション
- 組成変調したTi-TiN多層薄膜における高強度化機構
- Al/TiN2層薄膜の微小押し込み硬さ試験におけるエネルギー散逸
- 分子認識膜を有する表面プラズモン共鳴ガスセンサの開発(センサー・一般)
- 自動車用エアコンの臭気抑制 -表面処理皮膜臭とその抑制-
- 表面プラズモン共鳴化学センサの酢に対する応答特性
- 自動車用エアコンの表面処理
- シリコン膜で表面を被覆したステンレス鋼のガス放出特性
- KOH 水溶液を用いた電圧印加によるn-Si(110)の等方性エッチング
- 組成変調したTiN-Ti多層薄膜の構造と硬さおよび内部応力
- 組成傾斜構造とAr圧がZrN/Zr/ZrO_2とZrN/ZrO_2膜の硬さ及び付着力に与える影響
- 固体炭素源を用いた反応性スパッタリング法によるTiC膜の作製
- 高周波プラズマ支援マグネトロンスパッタリングにおける粒子のエネルギー分布
- 組成変調を持つTi-TiN多層構造薄膜のナノインデンテーション法による硬さの評価
- 組成傾斜構造をもつZrn/Zr/ZrO_2とTiN/Ti/TiO_2膜の付着力と硬さの評価
- Cu/TiN薄膜間の付着力に対するTi膜の効果
- Cu/TiN薄膜間の接着層の効果
- 低出力Arイオン照射前処理によるTi薄膜/Si基板間の密着性の改善
- Ti接着層によるPt膜/TiO2間の密着性向上およびPt膜の抵抗特性への影響
- Ti接着層によるPt膜/TiO_2間の密着性向上およびPt膜の抵抗特性への影響
- 酸化物半導体薄膜ガスセンサを用いた魚の鮮度判定
- Al/TiN多層薄膜の微小押し込み硬さ試験におけるエネルギー散逸
- 固体炭素源を用いた2元交互スパッタリングによるTiC薄膜の作製
- TiO_2 上の高密着力・高純度 Pt 薄膜の形成
- 自動車用半導体材料技術
- 高周波支援マグネトロンスパッタリング法におけるAr^+及びTi^+のエネルギー分布のAr圧力依存性
- 高周波支援マグネトロンスパッタリング法におけるAr^+及びTi^+のエネルギー分布のコイル自己バイアス依存性
- 高周波支援マグネトロンスパッタリング法におけるAr^+及びTi^+のエネルギー分布のカソード電力依存性
- 電荷-電圧リサージュ法と表面電荷図形法を併用したコロナ-グロー放電遷移特性の評価
- ITO薄膜のキャリア輸送現象に対するフォノン散乱の寄与
- 水晶振動子式ガスセンサの機能設計
- Cu/TiN薄膜間の付着力に対するTi膜の効果
- スパッタリング法によるカーボンナノフレークの形成
- スパッタリング法の変遷
- 酸素クラスタとガスセンサアレイを組み合わせた脱臭モニタリング
- プラズマCVD法で作製した分子認識膜を持つ水晶振動子式ガスセンサ
- SPR化学センサの酢に対する応答
- サマリー・アブストラクト
- 20世紀における薄膜・表面科学の歴史と将来展望
- 応用物理教育分科会への期待
- 技術者教育認定制度
- 第3回物理系学会世界会議報告
- 高度材料の開発センター発足
- 薄膜の付着研究の現況
- 有限要素法による表面密着性解析
- "小特集/ナノ加工と表面技術"の企画にあたって
- 重ね蒸着膜の内部応力を用いた付着力測定方法
- Ti接着層によるPt/TiO2間の密着性向上とその影響
- Ti薄膜/Si基板の界面構造と密着性
- 本質の追究
- 27pYG-1 物理・応用物理学関連分野での審査試行開始にあたって(27pYG 領域外シンポジウム(応用物理学会との共同企画シンポジウム)主題:日本技術者教育認定機構JABEEについて-物理・応用物理学関連分野での審査試行開始にあたって-,領域8(強相関系分野-高温超伝導,強相関f電子系など))
- 27pYG-1 物理・応用物理学関連分野での審査試行開始にあたって(27pYG 領域外シンポジウム(応用物理学会との共同企画シンポジウム) 主題:日本技術者教育認定機構JABEEについて-物理・応用物理学関連分野での審査試行開始にあたって-,領域外)
- 27pYG-4 物理・応用物理学関連分野の審査基準(27pYG 領域外シンポジウム(応用物理学会との共同企画シンポジウム)主題:日本技術者教育認定機構JABEEについて-物理・応用物理学関連分野での審査試行開始にあたって-,領域8(強相関系分野-高温超伝導,強相関f電子系など))