竹中 修 | (株)デンソー生産技術開発二部
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概要
関連著者
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竹中 修
(株)デンソー生産技術開発二部
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日本電装株式会社基礎研究所担当部員
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太田 実
日本電装(株)セラミック事業部
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竹中 修
日本電装株式会社生産技術開発2部部長
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(株)デンソー技術電算部
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神谷 豊晴
日本電装(株)
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原 邦彦
日本電装株式会社
著作論文
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- Cu/TiN薄膜間の接着層の効果
- 低出力Arイオン照射前処理によるTi薄膜/Si基板間の密着性の改善
- Ti接着層によるPt膜/TiO2間の密着性向上およびPt膜の抵抗特性への影響
- Ti接着層によるPt膜/TiO_2間の密着性向上およびPt膜の抵抗特性への影響
- 自動車用半導体材料技術
- 重ね蒸着膜の内部応力を用いた付着力測定方法