Ti接着層によるPt膜/TiO_2間の密着性向上およびPt膜の抵抗特性への影響
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概要
著者
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金原 粲
金沢工業大学AMS R&D C
-
竹中 修
(株)デンソー生産技術開発二部
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竹中 修
日本電装(株)生産技術開発二部
-
近藤 憲司
(株)デンソー生産技術開発二部
-
近藤 市治
(株)デンソー生産技術開発二部
-
近藤 市治
日本電装(株)
-
近藤 憲司
日本電装(株)
-
白井 誠
日本電装(株)セラミック事業部
-
太田 実
日本電装(株)セラミック事業部
-
金原 粲
金沢工業大学
-
竹中 修
日本電装(株)
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