二元交互スパッタリング法を用いたTiC-C系多層薄膜の作製
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概要
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- 2000-03-20
著者
-
南戸 秀仁
金沢工業大学・ものづくり研
-
草野 英二
金沢工業大学
-
草野 英二
金沢工業大学・高度材料科学研究開発センター
-
金原 粲
東京大学生産技術研究所
-
菊地 直人
産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門
-
菊地 直人
金沢工業大学AMS R&D C
-
金原 粲
金沢工業大学AMS R&D C
-
沢平 嘉浩
金沢工業大学AMS R&D DC
-
南戸 秀仁
金沢工業大学
-
沢平 嘉浩
金沢工業大学ams R&d Dc
-
金原 粲
金沢工業大学
-
沢平 嘉浩
金沢工業大学 A MSR & DC
-
菊地 直人
金沢工業大学 A MSR & DC
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